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振荡器、电子设备和移动体


技术摘要:
振荡器、电子设备和移动体。提供能够输出高精度的频率信号的振荡器、以及具有所述振荡器的电子设备和移动体。振荡器具有:第1容器;第2容器,其收纳于所述第1容器;振动片,其收纳于所述第2容器;温度传感器,其收纳于所述第2容器;第1电路元件,其收纳于所述第2容器,  全部
背景技术:
在专利文献1中记载了一种振荡器,该振荡器具有:外侧封装;收纳于外侧封装的 内侧封装;收纳于内侧封装的振动片;以及收纳于外侧封装且配置于内侧封装上的电路元 件。此外,在专利文献1的振荡器中,在电路元件中包含有温度传感器,根据温度传感器检测 出的温度对输出信号的频率进行校正。 现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本特开2017-175202号公报 但是,在专利文献1的振荡器中,包含温度传感器的电路元件位于收纳振动片的内 侧封装的外侧,因此,容易产生温度传感器和振动片的温度差,很难高精度地进行输出信号 的校正。因此,输出信号的频率精度可能降低。
技术实现要素:
本发明的应用例的振荡器的特征在于,所述振荡器具有:第1容器;第2容器,其收 纳于所述第1容器;振动片,其收纳于所述第2容器;温度传感器,其收纳于所述第2容器;第1 电路元件,其收纳于所述第2容器,包含振荡电路,该振荡电路生成使所述振动片振荡并根 据所述温度传感器的检测温度进行温度补偿后的振荡信号;以及第2电路元件,其收纳于所 述第1容器,包含对所述振荡信号的频率进行控制的频率控制电路,所述第2容器和所述第2 电路元件分离,并且在俯视观察时相互重叠配置。 在本发明的应用例的振荡器中,优选所述第1容器具备:具有凹部的第1基础基板; 以及以封闭所述凹部的开口的方式与所述第1基础基板接合的第1盖,所述第2容器配置于 所述凹部内,所述第2电路元件配置于所述第2容器与所述第1盖之间。 在本发明的应用例的振荡器中,优选所述凹部具有:在所述第1基础基板的靠所述 第1盖侧的面开放的第1凹部;以及在所述第1凹部的底面开口的第2凹部,所述第2容器接合 于所述第2凹部的底面,所述第2电路元件接合于所述第1凹部的底面,在俯视观察时,所述 第2电路元件与所述第2凹部重叠。 在本发明的应用例的振荡器中,优选所述凹部具有在所述第2凹部的底面开口的 第3凹部,所述振荡器具有配置于所述第3凹部内的旁通电容器。 在本发明的应用例的振荡器中,优选所述第2容器具有被施加所述振荡电路用的 电源电压的电源端子,所述旁通电容器与所述电源端子连接。 在本发明的应用例的振荡器中,优选所述第2容器具有输出所述温度传感器的输 出信号的温度输出端子,所述温度输出端子与所述频率控制电路电连接。 在本发明的应用例的振荡器中,优选所述第1容器内相对于大气压被减压。 4 CN 111614340 A 说 明 书 2/12 页 在本发明的应用例的振荡器中,优选所述第2容器具有:第2基础基板,所述振动片 固定于该第2基础基板;以及以在与所述第2基础基板之间收纳所述振动片的方式与所述第 2基础基板接合的第2盖,所述第2盖经由接合部件而与所述第1基础基板接合。 本发明的应用例的振荡器的特征在于,所述振荡器具有:具有内部空间的第1容 器,其包含基础基板和与所述基础基板的一个主面侧接合的盖;第2容器,其配置于所述内 部空间;振动片,其收纳于所述第2容器;温度传感器,其收纳于所述第2容器;第1电路元件, 其收纳于所述第2容器,包含振荡电路,该振荡电路生成使所述振动片振荡并根据所述温度 传感器的检测温度进行温度补偿后的振荡信号;以及第2电路元件,其配置于所述基础基板 的另一个主面侧,包含对所述振荡信号的频率进行控制的频率控制电路,所述第2容器和所 述第2电路元件分离,并且在俯视观察时重叠配置。 本发明的应用例的振荡器的特征在于,所述振荡器具有:第1容器;具有内部空间 的第2容器,其收纳于所述第1容器,包含基础基板和与所述基础基板的一个主面侧接合的 盖;振动片,其配置于所述内部空间,并配置于所述基础基板;温度传感器,其配置于所述基 础基板的另一个主面侧;第1电路元件,其配置于所述基础基板的另一个主面侧,包含振荡 电路,该振荡电路生成使所述振动片振荡并根据所述温度传感器的检测温度进行温度补偿 后的振荡信号;以及第2电路元件,其收纳于所述第1容器,包含对所述振荡信号的频率进行 控制的频率控制电路,所述第2容器和所述第2电路元件分离,并且在俯视观察时重叠配置。 本发明的应用例的电子设备的特征在于,所述电子设备具有:上述振荡器;以及信 号处理电路,其根据所述振荡器的输出信号进行信号处理。 本发明的应用例的移动体的特征在于,所述移动体具有:上述振荡器;以及信号处 理电路,其根据所述振荡器的输出信号进行信号处理。 附图说明 图1是示出第1实施方式的振荡器的剖视图。 图2是示出图1的振荡器的俯视图。 图3是示出图1的振荡器所具有的温度补偿型石英振荡器的俯视图。 图4是图1的振荡器所具有的第2电路元件的电路图。 图5是示出第2实施方式的振荡器的剖视图。 图6是示出第3实施方式的振荡器的剖视图。 图7是示出第4实施方式的振荡器的剖视图。 图8是示出第5实施方式的个人计算机的立体图。 图9是示出第6实施方式的汽车的立体图。 标号说明 1:振荡器;2:外侧封装;3:温度补偿型石英振荡器;4:第2电路元件;5:内侧封装; 6:振动片;7:第1电路元件;21:第1基础基板;22:第1盖;23:接合部件;25:模制部;40:PLL电 路;41:相位比较器;42:电荷泵;43:低通滤波器;44:电压控制型振荡电路;45:分频电路; 48:存储部;49:输出电路;51:第2基础基板;52:第2盖;53:接合部件;60:石英基板;61:电 极;71:温度传感器;72:振荡电路;81、82:分立元件;211、211a~211e:凹部;212、212a、 212b:凹部;241、242:内部端子;243:外部端子;481:温度校正表;511、511a~511d:凹部; 5 CN 111614340 A 说 明 书 3/12 页 512、512a、512b:凹部;513:部分;541、542:内部端子;543:外部端子;543a~543d:端子; 621:第1激励电极;622:第1连接盘电极;623:第1引出电极;631:第2激励电极;632:第2连接 盘电极;633:第2引出电极;721:振荡电路部;722:温度补偿电路部;810、820:旁通电容器; 1100:个人计算机;1102:键盘;1104:主体部;1106:显示单元;1108:显示部;1110:信号处理 电路;1500:汽车;1510:信号处理电路;B1~B3、B5:接合部件;BW1~BW4:接合线;D:分离距 离;G:空隙;S2、S5、S6:内部空间。
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