技术摘要：
本发明涉及电源冷却技术领域，具体涉及一种微波电源冷却系统。其包括：箱体、冷却装置、第一散热部、第二散热部和第三散热部。该系统一方面采用直冷式一体化铝材冷却水路，使得冷却水和铝材管路可以直接进行热交换，最大限度提高热交换的效率和速度，替代冷却水在铜管  全部
背景技术：
微波电源在家用电器、通信和工业生产上都得到广泛应用，特别是随着真空等离 子技术的发展，微波电源在MPCVD(微波等离子体化学真空沉积)技术上得以较快发展。美国 的MKS公司主要生产用于MPCVD的微波电源，这种微波电源都是6千瓦或以上的大功率电源， 微波电源上的功率器件的发热严重，必须通过冷却处理加快散热。现有的冷却方式如下：冷 却水在铜管里循环，铜管固定在铝板上，功率器件通过导热膏固定在铝板上，PCB板安装在 铝板上，而铝板下面有散热片，在电源的后面底部安装侧向吹风的风扇，微波电源工作时： 铝板上的大功率器件通过铝板冷却，PCB板上面的功率器件通过风扇吹出的风进行冷却。 目前微波电源冷却系统有如下几个缺点： 1)铝冷却体不是直冷，大大影响冷却水的热交换效率； 2)无风路控制，不能形成完整的气流循环回路，由于箱体是铝材，具有良好的导热 性，冷风吹到箱体上没有固定的吹向需要冷却的功率器件上，影响冷却效率； 3)没有对全部重要发热器件进行重点冷却。 鉴于此，克服以上现有技术中的缺陷，提供一种微波电源冷却系统成为本领域亟 待解决的技术问题。
技术实现要素：
本发明的目的在于针对现有技术的上述缺陷，提供一种微波电源冷却系统。 本发明的目的可通过以下的技术措施来实现： 本发明提供了一种微波电源冷却系统，该系统包括： 箱体，所述箱体具有容纳腔，所述容纳腔中安装有微波电源； 固定于所述箱体容纳腔底部的冷却装置，所述冷却装置由铝材料制成； 设于所述冷却装置上的第一散热部，所述第一散热部用于产生空气气流，并使空 气气流从所述冷却装置的一端流向另一端，以形成冷却空气气流； 分别设于所述箱体相对两侧壁上的第二散热部和第三散热部，所述第二散热部和 所述第三散热部共同作用控制所述冷却空气气流从微波电源的一侧流向另一侧，以帮助所 述微波电源散热。 优选地，所述微波电源包括多个PCB板，所述PCB板固定在所述冷却装置上表面，所 述PCB板位于所述第二散热部和所述第三散热部之间，所述第二散热部和第三散热部共同 作用使所述冷却空气气流经过所述PCB板。 优选地，所述冷却装置四周封闭，所述冷却装置的底部开设有用于安装所述第一 散热部的凹槽，所述冷却装置上开设有用于控制所述冷却空气气流流出的导流孔。 优选地，该系统还包括与所述导流孔配合设置的呈中空状的导流管，所述导流管 3 CN 111615286 A 说　明　书 2/4 页 底部设有开口，所述开口与所述导流孔配合供所述冷却空气气流流进所述导流管中，所述 导流管的周向设有穿孔，所述穿孔控制所述冷却空气气流的流出方向。 优选地，相邻两个PCB板之间形成供所述冷却空气气流通过的空气通道，所述导流 管与所述空气通道对应设置，所述第二散热部和所述第三散热部分别位于所述空气通道的 两侧。 优选地，所述导流管由铝材料制成。 优选地，所述冷却装置包括用于容纳冷却水的水冷腔、形成于所述水冷腔底壁外 侧并沿竖直方向延伸的多个间隔设置的散热片，相邻两个散热片之间形成供所述第一散热 部产生的空气气流通过的导流区。 优选地，所述水冷腔的侧壁上设有用于流进冷却水的进口和用于流出冷却水的出 口。 优选地，所述第一散热部的设置高度不高于所述水冷腔的下表面。 优选地，所述第一散热部和所述第二散热部均包括至少一个具有吹风结构的吹风 风扇，所述第三散热部包括至少一个具有吸风结构的吸风风扇。 本发明的冷却系统一方面采用直冷式一体化铝材冷却水路，直接进行热交换，最 大限度提高热交换的效率和速度，替代冷却水在铜管里循环，再经过铝板散热的方案；另一 方面，该系统采用三个散热部形成一个完整的、稳定的空气气流循环回路，提高冷却效果。 附图说明 图1是本发明实施例的冷却系统的第一种结构示意图。 图2是本发明实施例的冷却系统的第二种结构示意图。 图3是本发明实施例的冷却系统中的冷却装置的结构示意图。 图4是本发明实施例的冷却系统中的导流管的结构示意图。