技术摘要：
本发明的目的在于提供激光光源装置，其使用高输出激光并且寿命长且使散斑噪声降低。本发明是射出激光的激光光源装置(1)，其中，该激光光源装置(1)具有：光束分支部(3)，其将从激光光源部(2)射出的光束(L0)分支成第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)；以及光束合成部(5)，  全部
背景技术：
激光的单色性和指向性优异，当使用激光作为光源时，能够用作小型、高输出、寿 命长的光源单元。因此，激光光源代替灯光源而被使用于检查装置的光源、数字反射镜装 置、投影显示器等影像显示装置等。 特别是在对工件的正面或背面、内部进行观察等的方式中，通过使用激光光源，容 易得到观察等所需的高光量，能够增加每单位时间的处理张数。 但是，由于激光光源所具有的较高的可干涉性(所谓的相干性(coherence))，在激 光所照射的工件正面或投射屏幕等粗糙面上，反射/散射的光彼此相互干涉，会包含被称为 散斑噪声的特有的干涉噪声(亮点或暗点等。也简称为散斑)。因此，提出了各种降低因激光 光源导致的散斑的方法(例如专利文献1～2)。 现有技术文献 专利文献 专利文献1：日本特开2016-133393号公报 专利文献2：日本特开2010-224311号公报 专利文献3：日本特开2011-107144号公报 非专利文献 非专利文献1：OPTO  SCIENCE公司、经营产品>>Laser  Speckle  Reducer：激光散斑 减少器、[online]、[2019年1月30日检索]、网址
技术实现要素：
发明所要解决的课题 第1， 作为散斑降低的具体例，已知有将非专利文献1所示那样的光学元件配置于激光 的光路中的方式。但是，非专利文献1公开那样的光学元件通常是以树脂材料作为基材的结 构。因此，当激光的功率密度(即，每单位面积的能量强度)较高时，担心树脂材料受到损伤 而使作为光源装置的寿命降低。 另一方面，在如专利文献1、2所公开的那样使激光分支并改变各个激光的光路长 度之后进行再合成的方式中，存在无法充分降低散斑的课题。 因此，谋求实现使用高输出激光并且寿命长且散斑噪声少的激光光源装置。 因此，本发明是鉴于上述问题点而完成的，其第1目的在于提供使用高输出激光并 且寿命长且使散斑噪声降低的激光光源装置。 第2， 3 CN 111587395 A 说　明　书 2/8 页 在使用专利文献3公开那样的激光光源的检查装置的情况下，在激光中包含散斑 噪声，难以对微小的异物、孔隙或噪声进行判别。另一方面，在激光以外的光源的情况下，干 涉性较弱，难以检测微小的孔隙。 因此，本发明的第2目的在于提供使用干涉性较强的激光光源并且具有将散斑噪 声良好地去除的激光光源的检查装置。 用于解决课题的手段 综上，为了解决第1课题，本发明的一个方式是射出激光的激光光源装置，其特征 在于，该激光光源装置具有： 光束分支部，其将从激光光源射出的光束分支成第1分支光束和第2分支光束；以 及 光束合成部，其对第1分支光束和第2分支光束进行合成， 与第1分支光束的光路长度相比，第2分支光束的光路长度设定得较长， 在第1分支光束和第2分支光束的光路中具有扩散板。 另一方面，为了解决第2课题，本发明的一个方式是检查装置，其中，该检查装置具 有： 技术方案1～6中的任意一项所述的激光光源装置； 保持部，其对层叠体进行保持； 拍摄装置，其对从激光光源装置射出而在设定于层叠体的检查区域通过或发生了 反射的光进行拍摄；以及 检查部，其根据拍摄装置所拍摄的图像的亮度信息而对隐藏在层叠体的界面处的 异物或孔隙进行检查。 发明效果 根据用于解决第1课题的上述激光光源装置，能够使用高输出激光并且寿命长且 使散斑噪声良好地降低。 根据用于解决第2课题的上述检查装置，使用将散斑噪声良好地去除的激光光源 而进行检查，因此能够检测微小的异物或孔隙。 附图说明 图1是示出实现本发明的方式的一例的整体结构的概略图。 图2是示出实现本发明的其他方式的一例的整体结构的概略图。 图3是示出实现本发明的其他方式的一例的整体结构的概略图。 图4是示出实现本发明的其他方式的一例的整体结构的概略图。 图5是示出实现本发明的各方式的变形例的整体结构的概略图。 图6是示出实现本发明的其他方式的一例的整体结构的概略图。