技术摘要：
本发明公开了一种缺陷检测装置及缺陷检测方法。其中，缺陷检测装置包括样品台、照明模块、缺陷检测模块和照明调整模块，样品台包括透明部，透明部用于承载待测样品，照明模块用于出射检测光束，并入射至待测样品，照明模块包括第一照明光源，第一照明光源用于向待测样  全部
背景技术：
自动光学检测(Automatic  Optical  Inspection，AOI)技术可实现晶圆、芯片或其 他待测对象的快速、高精度、无损伤检测，该技术广泛地应用于PCB、IC晶圆、LED、TFT以及太 阳能面板等多个领域。 为了提高检测效率，尤其对于大尺寸基底的缺陷检测，采用TDI(time  delay  integration，时间延时积分)相机对待测对象进行扫描拍图，由于TDI相机的采样速率远高 于普通相机，因此可极大提高检测速率。但随着检出精度的不断提高，要求AOI设备具备对 于颗粒或缺陷的最小尺寸分辨能力越来越严格。 但由于待测样品在不同位置处的基底的透射率不同，通过基底反射的光的强度也 会不同，会导致缺陷在基底不同位置处的缺陷检测结果的一致性不同，即同样的缺陷，在待 测样品不同位置的检测结果不同，从而影响AOI设备检测的准确度。
技术实现要素：
本发明提供一种缺陷检测装置及缺陷检测方法，以提高缺陷检测的准确度。 第一方面，本发明实施例提供了一种缺陷检测装置，其特征在于，包括： 样品台、照明模块、缺陷检测模块和照明调整模块； 所述样品台包括透明部，所述透明部用于承载待测样品； 所述照明模块用于出射检测光束，并入射至待测样品；所述照明模块包括第一照 明光源，所述第一照明光源位于所述待测样品背离所述样品台的一侧，所述第一照明光源 用于向所述待测样品发射第一检测光束； 所述照明调整模块设置于所述透明部背离所述待测样品的一侧；所述照明调整模 块用于获取所述第一检测光束经所述待测样品后的透射光束的光强，并根据所述透射光束 的光强确定所述照明模块的光强调整量； 所述照明模块和所述照明调整模块连接，所述照明模块还用于根据所述光强调整 量调节出射的所述检测光束的光强； 所述缺陷检测模块用于获取所述待测样品的图像信息，并对所述图像信息进行缺 陷检测。 可选的，所述照明调整模块包括光强探测器和信号处理单元； 所述光强探测器用于获取所述第一检测光束经所述待测样品后的透射光束的光 强； 所述信号处理单元和光强探测器电连接，所述信号处理单元用于根据所述透射光 束的光强确定所述照明模块的光强调整量； 4 CN 111610197 A 说　明　书 2/10 页 所述照明模块和所述信号处理单元电连接。 可选的，所述信号处理单元和所述第一照明光源连接； 所述第一照明光源用于根据所述光强调整量调节所述第一检测光束的光强。 可选的，所述照明模块还包括第二照明光源，所述第二照明光源位于所述透明部 背离所述待测样品的一侧，所述第二照明光源用于向所述待测样品出射第二检测光束； 所述第二照明光源与所述信号处理单元电连接，所述第二照明光源还用于根据所 述光强调整量调节所述第二检测光束的光强。 可选的，所述照明模块还包括第二照明光源，所述第二照明光源位于所述透明部 背离所述待测样品的一侧，所述第二照明光源用于向所述待测样品出射第二检测光束； 所述第二照明光源与所述信号处理单元电连接，所述第二照明光源还用于根据所 述光强调整量调节所述第二检测光束的光强。 可选的，包括多个所述照明调整模块和多个第一照明光源；所述照明调整模块呈 阵列排布，所述照明调整模块和所述第一照明光源一一对应连接设置。 可选的，包括多个所述照明调整模块和多个第二照明光源；所述照明调整模块成 阵列排布，所述照明调整模块和所述第二照明光源一一对应连接设置。 可选的，包括一个所述照明调整模块；所述样品台包括驱动部，所述驱动部用于驱 动所述样品台在平行于所述样品台所在平面内运动。 第二方面，本发明实施例还提供了一种缺陷检测方法，采用如第一方面所述的任 一缺陷检测装置，其特征在于，包括： 控制照明模块出射检测光束； 通过照明调整模块获取第一检测光束经所述待测样品后的透射光束的光强，并根 据所述透射光束的光强确定照明模块的光强调整量； 控制照明模块根据所述光强调整量调整检测光束的光强； 通过缺陷检测模块获取所述待测样品的图像信息，并对所述图像信息进行缺陷检 测。 可选的，在通过照明调整模块获取第一检测光束经所述待测样品后的透射光束的 光强，并根据所述透射光束的光强确定照明模块的光强调整量之前，还包括： S1、将标准样品放置样品台； S2、所述缺陷检测模块获取清晰的第一图像信息，并获取第一图像信息中的缺陷 强度值； S3、调整检测位置或更换标准样品； S4、控制照明模块出射检测光束； S5、通过照明调整模块获取所述透射光束的光强； S6、通过所述缺陷检测模块获取第二图像信息，并获取第二图像信息中的缺陷强 度值； S7、调整所述照明模块的所述检测光束的光强，以使第二图像信息中的缺陷强度 值等于第一图像信息中的缺陷强度值，并确定所述照明模块的光强调整量； S8、重复S3-S7确定透射光束的光强与照明模块的光强调整量的对应关系。 可选的，所述通过照明调整模块根据所述透射光束的光强确定照明模块的光强调 5 CN 111610197 A 说　明　书 3/10 页 整量，包括： 根据透射光束的光强与照明模块的光强调整量的对应关系，确定当前透射光束的 光强对应的照明模块的光强调整量。 本发明通过在样品台上设置透明部来承载待测样品，以使第一照明光源发射的第 一检测光束至待测样品底部后可以穿透透明部并到达照明调整模块，照明调整模块获取第 一检测光束经待测样品后的透射光束的光强，并根据透射光束的光强确定照明模块的光强 调整量，从而实现根据待测样品的光透过率调节照明模块出射的检测光束的光强，缺陷检 测模块获取待测样品的图像信息，并对图像信息进行缺陷检测，解决了由于待测样品不同 位置处的透射率或反射率不同而导致相同缺陷在待测样品不同位置处的检测结果不一致 的问题，提升了缺陷检测装置的准确率。 附图说明 图1为现有的一种缺陷检测装置的示意图； 图2为现有的另一种缺陷检测装置的示意图； 图3为本发明实施例提供的一种缺陷检测装置的结构示意图； 图4为本发明实施例提供的另一种缺陷检测装置的结构示意图； 图5为本发明实施例提供的又一种缺陷检测装置的结构示意图； 图6为本发明实施例提供的又一种缺陷检测装置的结构示意图； 图7为本发明实施例提供的又一种缺陷检测装置的结构示意图； 图8为本发明实施例提供的一种缺陷检测方法的流程示意图。