技术摘要：
本发明的编码器装置具备：检测移动部的位置信息的位置检测部、沿所述移动部的移动方向具有多个极性的磁铁；以及电信号产生部，其具有磁特性根据伴随与所述磁铁的相对移动的磁场的变化而变化的感磁部，基于所述感磁部的磁特性而产生电信号，所述感磁部以和与所述移动方  全部
背景技术：
检测被检物的旋转角或旋转速度等的位置信息的编码器装置搭载于机械手装置 等的各种装置。作为现有的编码器装置，已知有使用韦根线这种磁性线材将旋转的磁铁的 磁场的变化转变为电信号、并利用该电信号求出旋转速度的装置(例如，参照专利文献1)。 上述这种使用了磁性线材的编码器装置期望减少因磁铁的不需要的磁场而引起 的噪声以产生稳定的电信号，实现检测结果的可靠性的提高。 现有技术文献 专利文献 专利文献1：JP特开平8-136558号公报
技术实现要素：
根据第一方面，提供一种编码器装置，其具备：检测移动部的位置信息的位置检测 部；沿该移动部的移动方向具有多个极性的磁铁；以及电信号产生部，其具有磁特性根据伴 随与该磁铁的相对移动的磁场的变化而变化的感磁部，与该感磁部的磁特性而产生电信 号，该感磁部以和与该移动方向正交的方向上的上述磁铁的侧面隔开间隔、且使该感磁部 的长度方向与磁铁的至少一部分的磁力线的切线方向正交的方式配置。 根据第二方面，提供一种具备第一方面的编码器装置、和向其移动部供给动力的 动力供给部的驱动装置。 根据第三方面，提供一种具备移动物体、和使该移动物体移动的第二方面的驱动 装置的载台装置。 根据第四方面，提供一种具备第二方面的驱动装置、和通过该驱动装置而相对移 动的臂部的机械手装置。 附图说明 图1是示出第一实施方式的编码器装置的图。 图2的(A)是示出图1中的磁铁、电信号产生单元、以及磁传感器的立体图、图2的 (B)是示出图2的(A)的磁铁等的俯视图、图2的(C)是示出图2的(A)的磁传感器的电路图。 图3的(A)是示出图2的(A)的磁铁以及电信号产生单元的俯视图、图3的(B)以及 (C)分别是图3的(A)的剖视图、图3的(D)是示出变形例的俯视图、图3的(E)是图3的(D)的侧 视图。 图4是示出图1的编码器装置的供电系统以及多圈信息检测部的构成的图。 图5是示出图1的编码器装置在正旋转时的动作的图。 图6的(A)是示出第二实施方式的磁铁以及电信号产生单元的俯视图、图6的(B)是 5 CN 111602032 A 说　明　书 2/20 页 图6的(A)的侧视图、图6的(C)是示出图6的(A)的磁铁的一部分的放大图、图6的(D)是示出 变形例的俯视图、图6的(E)是图6的(D)的侧视图。 图7的(A)是示出第三实施方式的磁铁以及电信号产生单元的俯视图、图7的(B)是 图7的(A)的剖视图、图7的(C)是示出变形例的俯视图。 图8的(A)是示出第四实施方式的磁铁以及电信号产生单元的俯视图、图8的(B)以 及(C)分别是图8的(A)的剖视图、图8的(D)是示出变形例的俯视图、图8的(E)是图8的(D)的 侧视图。 图9的(A)是示出第五实施方式的磁铁、电信号产生单元、以及磁传感器的俯视图、 图9的(B)是图9的(A)的剖视图。 图10的(A)是示出第六实施方式的电信号产生单元、磁传感器、以及光学传感器的 俯视图、图10的(B)是图10的(A)的剖视图。 图11是示出驱动装置的一例的图。 图12是示出载台装置的一例的图。 图13是示出机械手装置的一例的图。