技术摘要：
[课题]提供粒径小、在高频带中能实现高的μ’、并且具有高的绝缘性的硅氧化物被覆铁粉及其制造方法。[解决手段]在使由平均粒径为0.25μm以上且0.80μm以下、并且平均轴比为1.5以下的铁粒子构成的铁粉分散于包含1质量％以上且40质量％以下的水的水与有机物的混合溶剂中  全部
背景技术：
作为磁性体的铁系金属的粉末以往成型为压粉体(压坯)，用于电感器的磁芯。作 为铁系金属的例子，已知：包含大量Si、B的Fe系非晶合金(专利文献1)、Fe-Si-Al系的铁硅 铝合金(sendust)、坡莫合金(permalloy)(专利文献2)等铁系合金的粉末、羰基铁粉(非专 利文献1)等。另外，这些铁系金属粉与有机树脂复合化而制成涂料，也用于表面封装型的线 圈部件的制造(专利文献2)。 作为电感器之一的电源系电感器近年来正进行高频化，要求能在100MHz以上的高 频下使用的电感器。作为高频带用的电感器的制造方法，例如在专利文献3中公开了一种电 感器及其制造方法，该电感器使用了在大粒径的铁系金属粉、中粒径的铁系金属粉中混合 微小粒径的镍系金属粉而成的磁性体组合物。在此，混合微小粒径的镍系金属粉，是为了通 过将粒径不同的粉体混合来提高磁性体的填充度，作为结果，提高电感器的磁导率。但是， 在专利文献3所公开的技术中，通过混合不同粒径的磁性体，压粉体的填充率增加，但存在 最终得到的电感器的磁导率的增加较少这样的问题。 电感器用的软磁性粉末通常被覆绝缘物而使用。被覆了绝缘物的软磁性粉末的制 造方法例如有专利文献4，但专利文献4中得到的绝缘物被覆软磁性粉末由于被覆层的平均 膜厚大，磁性粉末的压粉密度降低，因此存在磁特性劣化这样的问题。 现有技术文献 专利文献 专利文献1：日本特开2016-014162号公报 专利文献2：日本特开2014-060284号公报 专利文献3：日本特开2016-139788号公报 专利文献4：日本特开2009-231481号公报 非专利文献 非专利文献1：Yuichiro  Sugawa等 ,12th  MMM/INTERMAG  CONFERENCE , CONTRIBUTED  PAPER,HU-04,最终手稿.
技术实现要素：
发明所要解决的课题 通过专利文献3的技术得到的电感器的磁导率没有那么高，认为是因为镍系金属 粉的磁导率低于铁系金属粉的磁导率。因此，期待通过混合磁导率高于镍系金属的微小粒 径的铁粉来得到磁导率高的电感器。但是，以往并无平均粒径为0.8μm以下的微小粒径的铁 3 CN 111601674 A 说　明　书 2/17 页 粉，电感器的磁导率的提高存在极限。 本申请人首先在日本专利申请2017-134617号中公开了粒径0.25～0.80μm、轴比 1.5以下且100MHz下的磁导率μ’高的铁粉和硅氧化物被覆铁粉及其制造方法。在上述申请 中所公开的制造方法中，通过使含磷离子共存的湿式法制造铁粉，但此时，得到被含有少量 磷的硅氧化物被覆了的铁粉。然而，在上述被含有少量磷的硅氧化物被覆了的铁粉的情况 下，存在绝缘性低这样的问题。 本发明鉴于上述问题，目的在于提供粒径小、在高频带中能实现高的μ’、并且具有 高的绝缘性的硅氧化物被覆铁粉及其制造方法。 用于解决课题的手段 为了实现上述目的，在本发明中，提供一种硅氧化物被覆铁粉，其是平均粒径为 0.25μm以上且0.80μm以下、并且平均轴比为1.5以下的铁粒子的表面用硅氧化物被覆了的 硅氧化物被覆铁粉，其中，Si含量为1.0质量％以上且10质量％以下，在对将上述硅氧化物 被覆铁粉以64MPa垂直加压成型而得到的压粉体施加了10V的外加电压的状态下所测得的 压粉体的体积电阻率为1.0×105Ω·cm以上。 上述硅氧化物被覆铁粉优选上述铁粒子的P含量相对于上述铁粒子的质量为0.1 质量％以上且1.0质量％以下，优选将上述硅氧化物被覆铁粉以64MPa加压成型而得到的压 粉体的压粉密度为4.0g/cm3以下。 在本发明中，还提供硅氧化物被覆铁粉的制造方法，其是平均粒径为0.25μm以上 且0.80μm以下、并且平均轴比为1.5以下的铁粒子的表面用硅氧化物被覆了的硅氧化物被 覆铁粉的Si含量为1.0质量％以上且10质量％以下的硅氧化物被覆铁粉的制造方法，包括： 铁粉制造工序，准备由平均粒径为0.25μm以上且0.80μm以下、并且平均轴比为1.5以下的铁 粒子构成的铁粉；浆料保持工序，保持将上述工序中得到的铁粉分散于包含1质量％以上且 40质量％以下的水的水与有机物的混合溶剂中而得到的浆料；烷氧化物添加工序，在使上 述铁粉分散于上述混合溶剂并保持的浆料中添加烷氧化硅；水解催化剂添加工序，在添加 有上述烷氧化硅的浆料中添加烷氧化硅的水解催化剂，得到被覆有硅氧化物的铁粉分散的 浆料；和回收工序，将包含上述被覆有硅氧化物的铁粉的浆料固液分离，得到被覆有硅氧化 物的铁粉。 发明效果 通过使用本发明的制造方法，可制造粒径小、在高频带中能实现高的μ’、并且具有 高的绝缘性的硅氧化物被覆铁粉。 附图说明 图1是通过比较例1得到的铁粉的SEM照片。 图2是通过实施例1得到的铁粉的SEM照片。