技术摘要：
本公开提供一种用于激光器腔室的电极、激光器系统及曝光设备。本公开的用于激光器腔室的电极，包括一具有多个电极表面的电极及中心轴，所述电极可绕中心轴旋转切换至任意一个电极表面。本公开与现有技术相比，激光器腔室的电极具有多个电极表面，当脉冲激光的质量下降  全部
背景技术：
脉冲激光用于多种应用，例如在集成电路光刻中，将激光通过掩模来用于曝光在 晶片上的光刻胶。可使用在腔室中的气体放电介质来产生这种脉冲激光，通过在非常高的 电压下于气体放电介质中以非常短的电气放电方式在一对电极(阳极和阴极)之间提供气 体放电。 腔室中的一些等离子体对电极是高度腐蚀的，尤其是对于阳极。因此，在腔室操作 时，阳极将随时间腐蚀。再有，在阳极的表面因为等离子体趋于跟随电流从阴极到阳极的流 动，可导致在等离子体中发生电弧作用。如图1和图2阴影部分所示的腐蚀部分。图1示出了 现有技术中阳极被腐蚀部分的横截面图，图2示出了现有技术中阳极被腐蚀部分的侧面图。 等离子体中的电弧作用是不利的，因为它夺取激光器腔室的能量，因为能量进入 电弧放电而不进入激光器腔体。因此，当在等离子体中发生大量电弧作用时，必须更换电极 来保持激光器腔室有效操作，此时得连同腔室一起更换，缩短了激光器系统有效操作时间。
技术实现要素：
本公开的目的是提供一种用于激光器腔室的电极、一种激光器系统及一种曝光设 备。 本公开第一方面提供一种用于激光器腔室的电极，包括： 电极，所述电极具有中心轴，并具有多个电极表面，所述电极可绕中心轴旋转切换 至任意一个电极表面。 本公开第二方面提供一种激光器系统，包括： 腔室； 设置在所述腔室之内的阴极，所述阴极具有阴极表面；以及， 设置在所述腔室之内的阳极，所述阳极具有中心轴，并具有多个阳极表面；所述阳 极可旋转切换至任意一个阳极表面来与所述阴极表面相对，所述阳极表面和阴极表面之间 的间隔限定了腔室之内的放电区域。 本公开第三方面提供一种曝光设备，包括： 如第二方面中所述的激光器系统。 本公开与现有技术相比的优点在于： 激光器腔室的电极具有多个电极表面，当脉冲激光的质量下降时，可旋转切换到 良好的电极表面继续操作，延长了激光器腔室的使用寿命。 3 CN 111585152 A 说　明　书 2/5 页 附图说明 通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通 技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本公开 的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中： 图1示出了现有技术中阳极被腐蚀部分的横截面图； 图2示出了现有技术中阳极被腐蚀部分的侧面图； 图3示出了本公开所提供的一种用于激光器腔室的电极的横截面示意图； 图4示出了本公开所提供的一种用于激光器腔室的电极的侧面示意图； 图5示出了本公开所提供的一种控制阳极切换不同阳极表面的流程图。