技术摘要:
本申请公开了一种压持组件,所述压持组件包括底座、压持件以及弹性件,所述压持件的中心位置设置有转轴,所述压持件通过所述转轴与所述底座固定;其中,所述底座与所述压持件之间的边缘两端还设置有所述弹性件,所述压持件压持所述弹性件,所述弹性件可沿其延伸方向伸 全部
背景技术:
在半导体以及光电行业中,很多类型的显示面板中均设置有玻璃基板,而随着显 示面板的大尺寸潮流趋势,玻璃基板的尺寸也越来越大,受制于玻璃的易碎特性,玻璃基板 的尺寸越大,其在显示面板制程中的破碎风险就越高。例如,在显示面板的PVD(Physical Vapor Deposition,物理气相沉积)工艺中,玻璃基板需要通过承载组件(例如承载盘)固定 为直立状态,并由齿轮带动承载组件以此移动玻璃基板。在此过程中,齿轮带动承载组件必 然会产生震动,如果震动过于剧烈,则极容易导致玻璃基板破裂。因此,需要一种压持组件, 减轻传送过程中的震动来避免玻璃基板发生破片现象。 现有的压持组件为flat type(平面型)基板压持组件,其在水平传送加减速过程 存在与基板撞击导致破片发生,玻璃基板0°到90°翻转过程因垂直方向存在约2mm高度差导 致底部压持组件与玻璃基板有撞击产生。 综上所述,现有的压持组件及传送装置在玻璃基板传送过程中,玻璃基板因受到 撞击力容易发生破片现象,进而降低了产品的良率。
技术实现要素:
本申请实施例提供一种压持组件及传送装置,能够改善玻璃基板在传送过程中发 生破片现象,以解决现有的压持组件及传送装置在玻璃基板传送过程中,玻璃基板因受到 撞击力容易发生破片现象,进而降低了产品的良率的技术问题。 本申请实施例提供一种压持组件,所述压持组件包括底座、压持件以及弹性件,所 述压持件的中心位置设置有转轴,所述压持件通过所述转轴与所述底座固定;其中,所述底 座与所述压持件之间的边缘两端还设置有所述弹性件,所述压持件压持所述弹性件,所述 弹性件可沿其延伸方向伸缩并传动所述压持件。 在一些实施例中,所述底座的中心位置设置有一凹槽,所述转轴内嵌于所述凹槽 内。 在一些实施例中,所述底座开设有容置孔,所述弹性件插值于所述容置孔中且在 自然状态下所述弹性件露出所述容置孔并与所述压持件相抵接。 在一些实施例中,所述弹性件包括第一弹性子件以及第二弹性子件,所述第一弹 性子件以及所述第二弹性子件均为内置式弹簧。 在一些实施例中,所述容置孔为盲孔,所述底座上设置有位于所述容置孔内且向 上延伸的限位柱,所述限位柱插置于所述内置式弹簧中。 在一些实施例中,所述压持件包括主体部以及阻挡部,所述阻挡部设置于所述主 体部的一侧,所述阻挡部的一侧面与所述主体部上表面垂直,所述主体部以及所述阻挡部 为一体成型结构。 3 CN 111591761 A 说 明 书 2/4 页 在一些实施例中,所述主体部上表面以及所述阻挡部的一侧面均设置有软性缓冲 件。 在一些实施例中,所述软性缓冲件包括设置于所述主体部上表面以及所述阻挡部 的一侧面上的多个凸起。 本申请实施例还提供一种传送装置,用于传送真空溅射基板,所述传送装置包括 所述的压持组件、托盘以及防静电组件。 在一些实施例中,所述防静电组件的材料为陶瓷。 本申请实施例提供的压持组件及传送装置,将压持件的两端内置弹簧且中间部设 计转轴,改善了玻璃基板在传送过程中因受到撞击力发生破片现象,进一步提升了产品的 良率。 附图说明 下面结合附图,通过对本申请的