技术摘要：
本发明提供的一种真空隔离阀及具有其的真空系统，属于真空阀门技术领域；真空隔离阀包括：阀体，具有适于连通在真空腔室的外侧壁上的开口端，阀体内滑动设置有适于通过开口端朝向真空腔室内伸入的阀板；阀座，适于设于真空腔室的内侧壁上，阀座上具有适于与真空腔室的  全部
背景技术：
真空行业已发展成为工业体系中的不可或缺的一部分，真空行业离不开真空阀 门，一般的真空阀门需要由驱动、阀体、阀座、阀板和密封圈组成，并且阀板位于真空腔室的 外部。 上述的真空阀门，阀板在运动过程中，容易扬起微尘，满足不了真空某些特殊场合 的需要。
技术实现要素：
因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的真空阀门的阀板运动过程 中容易扬起微尘，达不到某些特殊场合的真空需求的缺陷，从而提供一种能够减少阀板扬 尘的真空阀门及具有其的真空系统。 为了解决上述技术问题，本发明提供的真空隔离阀，包括： 阀体，具有适于连通在真空腔室的外侧壁上的开口端，所述阀体内滑动设置有适 于通过所述开口端朝向所述真空腔室内伸入的阀板； 阀座，适于设于所述真空腔室的内侧壁上，所述阀座上具有适于与所述真空腔室 的通气孔进行连通的阀孔，所述阀孔适于与所述阀板配合进行封闭。 作为优选方案，所述阀座一体成型于所述真空腔室的内壁上。 作为优选方案，所述阀体内具有第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内滑动设有 活塞，所述第二腔体内适于容纳所述阀板，所述阀板通过阀杆与所述活塞连接； 所述第一腔体和所述第二腔体之间设有密封组件，所述阀杆可滑动地密封穿过所 述密封组件。 作为优选方案，所述密封组件内设有差分抽气结构，所述差分抽气结构包括： 差分抽气腔，为围绕所述阀杆设置的环形，所述差分抽气腔分别与所述阀体的第 一腔体和第二腔体保持密封； 差分抽气孔，一端与所述差分抽气腔连通，另一端适于与抽气装置连通。 作为优选方案，所述差分抽气结构还包括： 差分抽气环，同心设置在所述差分抽气腔内，与所述阀杆和所述差分抽气腔的内 壁之间均具有间隙； 弹性密封圈，同心设置在所述差分抽气腔内，并在所述差分抽气环的两侧分别设 置有至少一个。 作为优选方案，所述阀体的第二腔体通过第一密封法兰与所述真空腔室的外侧壁 密封连接。 作为优选方案，所述第一密封法兰与所述真空腔室的外侧壁之间还同心设置有第 3 CN 111594659 A 说　明　书 2/5 页 二密封法兰。 一种真空系统，具有上述方案中任一项所述的真空隔离阀。 本发明技术方案，具有如下优点： 1 .本发明提供的真空隔离阀，阀板的移动空间为阀体以及真空腔室，阀板朝向和 背离阀座移动实现对阀孔开合；阀板在移动过程中，不与外界接触，故不会扬起微尘，保证 真空腔室内部的真空环境一直处于洁净状态，能够满足更高、更特殊的真空需求。 2.本发明提供的真空隔离阀，阀座一体成型于真空腔室的内壁上，不仅缩小了隔 离阀整体的体积，还提高了阀座与真空腔室的密闭性。 3.本发明提供的真空隔离阀，隔离阀处于打开状态时，阀板移动至第二腔体内，使 阀板与真空腔室脱离，互不干涉；另外，第二腔体内有增加其他部件的设置空间，来适应用 户的不同需求。 4.本发明提供的真空隔离阀，在第一腔体与第二腔体之间加设的差分抽气结构， 使第一腔体与第二腔体存有一个差分抽气腔；当第一腔体与第二腔体间因压差过大出现漏 气现象时，空气先进入差分抽气腔，抽气装置能够将空气抽走而避免进入真空腔室，从而保 证了真空腔室的真空度。 5.本发明提供的真空隔离阀，差分抽气环与弹性密封圈配合设置，使差分抽气腔 分别与第一腔体、第二腔体密封隔离。 6.本发明提供的真空隔离阀，第二密封法兰的设置，增加了第二腔体的容纳空间。 7.本发明提供的真空系统，由于具有上述方案中任一项所述的真空隔离阀，依次 具有上述方案中任一项所述的优点。 附图说明 为了更清楚地说明本发明