
技术摘要:
本发明涉及材料化学技术领域,公开了一种化合物薄膜、制备方法及其应用,所述化合物薄膜包括碘化铜与金属氧化物的化合物A,所述化合物A的化学式为(CuI)x(MO)1‑x,其中x为CuI的摩尔占比,0.5≤x<1,MO为金属氧化物。其制备方法为将碘化铜和金属氧化物溶解后混合,于衬 全部
背景技术:
碘化铜(CuI)呈本征P型导电,具有无毒、储量丰富、制备方法多样、可低温制备等 优点,是一种应用前景广阔的新型P型透明导电材料。但由于其易结晶、载流子浓度难以调 控等缺点,纯CuI比较难用作光电子器件的半导体有源层材料。 目前有关CuI基化合物材料的调控方法主要是在掺入其他物质,比如:Zn2 和Li , 硫氰酸盐,Sn4 等,其中比较典型的是掺入Sn4 形成CuSnI(Jun,T.et al Adv Mater 2018, 30,(12) ,e1706573),而且Sn4 的掺入可以实现CuI基材料的非晶化以及载流子浓度的调控。 CN 106449367 A公开了一种合成碘化铜锌三元宽带隙化合物半导体薄膜材料的 化学方法,该方法为:将铜锌合金薄膜放置到碘蒸汽环境中45~80℃进行铜锌合金的共氧 化反应,反应时间3~8h,反应一定时间后即可在基底表面原位制备出Cu2ZnI4薄膜,即碘化 铜锌半导体薄膜材料。这种制备方法不需要使用有机溶剂参与反应或者反应介质,晶体结 晶好;所得产物不需要复杂处理就可直接使用。 有关器件应用方面,CuI基材料目前主要用在P-N结、晶体管等器件中(Liu,A.et al Adv Mater 2018,e1802379;F-L.et al.Applied Physics Letters,2013,102:092019 (1-3)文献)。但碘化物普遍具有一定的离子特性,CuI基化合物材料极有可能成为神经突 触、痛觉感受器等器件的候选有源层半导体材料,而神经突触器件、痛觉模拟器在类脑计 算、人体感官模拟方面有重大应用。 总而言之,在CuI基化合物薄膜和器件的制备过程中,需要从材料、非晶化机理、载 流子调控机理、器件结构等方面进行深入研究,实现CuI基化合物材料的非晶化和载流子浓 度的调控,从而获得CuI基化合物材料的新性能并探索其新的应用领域(如痛觉模拟器、神 经突触器件)。
技术实现要素:
本发明旨在实现对CuI基化合物薄膜的非晶化和载流子浓度调控,利用金属氧化 物和碘化铜形成新的薄膜,降低材料的结晶度,形成表面平整的非晶薄膜。 为实现上述目的,本发明采用的技术方案是: 一种化合物薄膜,所述化合物薄膜包括碘化铜与金属氧化物的化合物A,所述化合 物A的化学式为(CuI)x(MO)1-x,其中x为CuI的摩尔占比,0.5≤x<1,MO为金属氧化物。 所述金属氧化物包括氧化钼、氧化钨、氧化锡及其化合物中任一种或多种。 优选地,所述金属氧化物为氧化钼,所述化合物A中0.7≤x<1。经发明人实验发现 当金属氧化物为氧化钼时,所述化合物A中碘化铜的摩尔比在0.7以上效果更好,薄膜兼具 非晶平整性和导电性。 本发明还提供所述的化合物薄膜的制备方法,包括如下步骤: 3 CN 111613521 A 说 明 书 2/7 页 (1)将碘化铜粉末溶解于溶剂I,金属粉末或金属氧化物粉末溶解于溶剂II,将两 种溶液按照摩尔比配制,超声或搅拌混合,得到澄清的薄膜前驱液; (2)衬底清洗和亲水性处理,向衬底表面滴加薄膜前驱液,静置后旋转衬底实现薄 膜涂布; (3)对涂布有薄膜的衬底退火处理,得到所述化合物薄膜。 所述溶剂I为碘化铜的良溶剂,包括2-巯基乙醇(2-ME)、乙腈、氨水、二甲基亚砜 (DMSO)、氯苯中一种或多种。 所述碘化铜溶解的溶液中可加入乙醇胺或丙基硫醚等作为稳定剂,因一般稳定剂 的沸点比较高,为降低工艺温度,应该尽量减少稳定剂添加量,以能获得澄清溶液为标准即 可。 所述溶剂II为金属的氧化剂及溶剂,或金属氧化物的溶剂,包括过氧化氢、氨水 等。 两种溶液在混合前应当完全溶解,混合后超声或搅拌至两种溶液尽可能均匀,溶 液呈澄清的状态,这样涂布的化合物薄膜更均匀,不呈现颗粒状缺陷。 所述衬底包括ITO玻璃片、硅片、热氧化硅片、载玻片等刚性衬底任一种,或PET、 PI、PDMS等柔性衬底中任一种。 所述衬底的清洗过程包括依次用丙酮、酒精和去离子水对基片表面清洗10~ 20min。以去除基片表面的杂质和污染物,提高化合物薄膜的附着力。 衬底清洗吹干后,再利用氧等离子体设备对衬底进行亲水性处理,使衬底表面具 有良好的浸润界面,利于薄膜前驱液在衬底表面均匀铺展。亲水处理时间过短的话,旋涂效 果就会很差,溶液不易铺展;亲水处理时间过长的会对基片表面造成破坏,不利于实验的开 展,经发明人多次实验,最佳的亲水性处理时间为2min~4min。 所述退火处理的温度为60~180℃,退火时间为10min~4h,退火环境为惰性气体、 空气或真空环境。 优选地,所述退火处理包括预退火和再退火,预退火过程的温度为60~80℃,时间 为1~10min;再退火过程的温度为100~180℃,退火时间为0.5~4h。 优选地,再退火过程的温度为130~140℃,退火时间为1~2h,退火环境为氩气或 真空环境,因有氧环境会增加所制薄膜的粗糙度。 所述化合物薄膜的厚度为70~180nm,优选地,厚度为120nm。 本发明还提供一种化合物薄膜的痛觉模拟器,包括所述化合物薄膜,具体结构依 次包括衬底、底电极、所述化合物薄膜和顶电极。其中,所述底电极层形成于所述衬底表面, 所述化合物薄膜形成于所述底电极层表面,所述顶电极层形成于所述化合物薄膜表面。在 人体中,痛觉感受器是一种重要的、特殊的感觉神经元感受器,它能够探测有害刺激,并为 中枢神经系统提供快速预警,从而启动人体和类人机器人的运动反应。它不同于其他常见 的感觉感受器,具有“不适应”和“敏化”现象等关键特性和功能,以此为研究基础,设计痛觉 模拟器件来模拟人体的痛觉感受器是十分必要的。本发明的痛觉模拟器在测试过程中性能 稳定,有望得到应用推广。 本发明还提供一种化合物薄膜的神经突触器件,包括所述化合物薄膜,具体结构 依次包括衬底、所述化合物薄膜、对电极。其中,所述化合物薄膜形成于所述衬底表面,所述 4 CN 111613521 A 说 明 书 3/7 页 对电极层形成于所述化合物薄膜表面,且所述对电极层是一组具有间隔的平行对电极层或 插指电极层。随着社会的进步和发展,人类逐渐进入了信息化时代,每天都需要处理庞大的 数据量问题。传统的冯·诺依曼体系数字计算机在数据结构不清晰、问题定义不明确等复 杂问题方面如视频、语音、图像数据的处理和识别却表现得十分低效。神经突触器件可用于 模拟类脑计算,本发明的神经突触器件在测试过程中性能稳定,重复性良好,有望得到应用 推广。 本发明还公开了一种化合物薄膜的P-N结器件,包括衬底、底电极、所述化合物薄 膜、N型导电材料和顶电极。其中,所述的底电极形成于所述衬底表面,所述化合物形成于所 述底电极表面,所述N型导电材料形成于所述化合物薄膜表面,所述顶电极层形成于所述N 型导电材料表面; 亦或是,所述的底电极形成于所述衬底表面;所述N型导电材料形成于所述底电极 表面,所述化合物薄膜形成于所述N型导电材料表面,所述顶电极层形成于所述化合物薄膜 表面。 与现有技术相比,本发明具有以下有益效果: (1)本发明利用碘化铜与金属氧化物形成新的化合物,该化合物具有碘化铜的离 子特性的同时,还具有比碘化铜低的结晶度,有利于形成表面平整的非晶和纳米晶薄膜,用 于多层薄膜器件有利于提高界面质量,从而提高器件性能,可作为半导体器件的有源层。 (2)本发明的化合物薄膜的制备工艺温度低于200℃,可用于多种柔性衬底,制备 柔性器件,应用范围更广。 (3)本发明首次将碘化铜基化合物薄膜材料应用于忆阻、神经突触、痛觉模拟器等 器件,器件在测试过程的性能良好,拓展了其应用领域,且该器件制备工艺简单,其大大节 约了实验过程中的成本,有望发展成为低功耗器件。 附图说明 图1为对比例1制备的碘化铜薄膜的AFM图。 图2为实施例2制备的氧化钼10%的碘化铜基化合物薄膜的AFM图。 图3为实施例3制备的氧化钼15%的碘化铜基化合物薄膜的AFM图。 图4为实施例4制备的氧化钼20%的碘化铜基化合物薄膜的AFM图。 图5为对比例1和实施例2~4制备的碘化铜基化合物薄膜的XRD图。 图6为应用例1中基于实施例9制备的痛觉模拟器I-V电学性能图。 图7为应用例1中基于实施例9制备的痛觉模拟器的脉冲性能图。 图8为应用例2中基于对比例1制备的神经突触器件I-V电学性能图。 图9为应用例2中基于实施例4制备的神经突触器件I-V电学性能图。 图10为应用例2中基于实施例4制备的神经突触器件连续循环I-V电学性能图。 图11为应用例3制备的P-N结器件的C-V电学性能图。 图12为应用例4制备的P-N结器件的I-V电学性能图。