技术摘要：
本发明的目的在于公开一种适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置，它包括气体分流管和通气固定管，所述通气固定管的一端垂直固定在所述气体分流管上且与所述气体分流管相连通，所述通气固定管的另一端与UM腔体的充气孔互相连接，所述气体分流管的两端封闭，在所述  全部
背景技术：
光伏发电是当前利用太阳能的主要方式之一，太阳能光伏发电因其清洁、安全、便 利、高效等特点，已成为世界各国普遍关注和重点发展的新兴产业。因此，深入研究和利用 太阳能资源，对缓解资源危机、改善生态环境具有十分重要的意义。 在太阳能电池制备工艺流程中，生产PERC电池时需要对硅片进行背面镀膜，目前 MAIA背面镀膜设备原配使用石墨框为4*6规格，一框最多承载24片。 随着目前光伏行业的发展，对设备产能的需求也越来越大，以前的设备标配产能 已不能满足现在的行业需求，需要对当前设备进行产能提升。因此出现5*6规格的石墨框， 每框可以承载30片，单框循环时间不变，提高了设备产能，但是5*6规格的石墨框在现有的 MAIA背面镀膜设备上运行时，UM腔有石墨框载片停留充气破真空时，充气气流会导致石墨 框上的硅片抖动滑落至腔体内，造成大量碎片以及返工。 因此，特别需要一种适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置，以解决上述 现有存在的问题。
技术实现要素：
本发明的目的在于提供一种适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置，针对 现有技术的不足，有效地解决了5*6石墨框在MAIA背面镀膜设备上运行时的UM腔掉片问题， 降低生产过程的碎片以及返工，为生产企业节约成本。 本发明所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现： 一种适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置，其特征在于，它包括气体分 流管和通气固定管，所述通气固定管的一端垂直固定在所述气体分流管上且与所述气体分 流管相连通，所述通气固定管的另一端与UM腔体的充气孔互相连接，所述气体分流管的两 端封闭，在所述气体分流管斜上45度方向上设置有一排通气孔，且所述通气孔的方向朝向 腔壁。 在本发明的一个实施例中，所述通气固定管为直径在10-16mm之间的不锈钢圆管。 在本发明的一个实施例中，所述通气固定管垂直焊接于所述气体分流管上，且所 述通气固定管与所述气体分流管之间相通。 在本发明的一个实施例中，所述充气孔与所述通气固定管之间互相密封连通。 在本发明的一个实施例中，所述气体分流管为直径在16-20mm之间的不锈钢圆管。 在本发明的一个实施例中，所述通气孔的直径为2-3mm，所述通气孔之间的间距为 60mm。 本发明的适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置，与现有技术相比，能有 3 CN 111584678 A 说　明　书 2/2 页 效解决5*6石墨框在MAIA背面镀膜设备上运行时的UM腔掉片问题，降低生产过程的碎片以 及返工，为生产企业节约成本，实现本发明的目的。 本发明的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了 解。 附图说明 图1为本发明的适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置的结构示意图； 图2为本发明的适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置在MAIA背面镀膜设 备UM腔里面的安装示意图。