技术摘要：
本发明实施例公开了一种半挥发性有机物微型释放舱的半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构，用于解决现有的气路连接结构运用带有一定污染物的流量调节装置对气体流量进行调节，从而影响气路中气体洁净度的技术问题。本发明实施例包括洁净气源；所述洁净气源连通有供  全部
背景技术：
现有的一般气路连接结构在需要对半挥发性有机物微型释放舱其气路内部的气 体进行流量调节时，经常会使用到流量控制装置，由于流量控制装置通常使用非金属橡胶 密封或者其制造材料采用非金属，气路中的气体流过流量控制装置时，气体多多少少会被 流量控制装置造成一定污染，导致气体的洁净度降低。 因此，为解决上述的技术问题，寻找一种可以在用于多测试舱的半挥发性有机物 微型释放舱的工作气路中无需使用流量控制装置便能实现气体流量控制的气路连接结构 成为本领域技术人员所研究的重要课题。
技术实现要素：
本发明实施例公开了一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构，用于解决 现有的半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构运用带有一定污染物的流量调节装置 对气体流量进行调节，从而影响气路中气体洁净度的技术问题。 本发明实施例提供了一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构，包括： 洁净气源；所述洁净气源连通有供气支路和校准支路； 所述校准支路上连接有质量流量计，并且所述校准支路上连接有至少一个校准供 气管道，每个所述校准供气管道上设有校准控制开关，每个所述校准供气管道上连接有一 个集气管，所述集气管上设置有流量调节阀； 所述供气支路上连接有与所述校准供气管道的数量相匹配的工作供气管道，每个 所述工作供气管道上设有工作控制开关，所述工作供气管道与集气管相连通； 所述集气管连通有微舱。 可选地，所述校准支路连接有三个校准供气管道，所述供气支路连接有三个工作 供气管道； 三个所述校准供气管道分别为A1校准供气管道、B1校准供气管道和C1校准供气管 道； 三个所述工作供气管道分别为A2工作供气管道、B2工作供气管道和C2工作供气管 道； 所述微舱的数量为三个，分为A微舱、B微舱和C微舱； 所述集气管的数量为三个，分为A集气管、B集气管和C集气管； 所述A1校准供气管道和所述A2工作供气管道共同连接A集气管，所述A集气管与A 微舱连通；所述B1校准供气管道和所述B2工作供气管道共同连接B集气管，所述B集气管与B 微舱连通，所述C1校准供气管道和所述C2工作供气管道共同连接C集气管，所述C集气管与C 3 CN 111550631 A 说　明　书 2/4 页 微舱连通。 可选地，所述校准控制开关和所述工作控制开关均为电磁阀。 可选地，所述校准控制开关和所述工作控制开关均为手动阀。 可选地，所述洁净气源为储存于储气罐内的洁净气体。 可选地，所述供气支路、所述校准支路、所述校准供气管道以及所述工作供气管道 均为尺寸相同的管道。 从以上技术方案可以看出，本发明实施例具有以下优点： 本发明实施例提供了一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构，包括洁净 气源；所述洁净气源连通有供气支路和校准支路；所述校准支路上连接有质量流量计，并且 所述校准支路上连接有至少一个校准供气管道，每个所述校准供气管道上设有校准控制开 关，每个所述校准供气管道上连接有一个集气管，所述集气管上设置有流量调节阀；所述供 气支路上连接有与所述校准供气管道的数量相匹配的工作供气管道，每个所述工作供气管 道上设有工作控制开关，所述工作供气管道与集气管相连通；所述集气管连通有微舱。本实 施例中的半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构在调节气体流量时，只需将其中一个 校准供气管道的校准控制开关打开，其它的校准供气管道的校准控制开关关闭，将与校准 控制开关打开的校准供气管道相对应的一个工作供气管道的工作控制开关关闭，其它的工 作供气管道的工作控制开关打开，然后通过控制流量调节阀对气体的流量进行调节，质量 流量计所显示的气体流量即为当前流入微舱的气体流量，调节好流量调节阀后，将当前校 准控制开关关闭，工作控制开关打开，将气流切换至工作供气管道即可正常工作。通过上述 的设计，可以在工作气路中不采用气体流量控制装置的前提下对气体的流量进行调节，很 好地保持了气体的洁净度。 附图说明 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本 发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可 以根据这些附图获得其它的附图。 图1为本发明实施例中提供的一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构的 示意图； 图2为本发明实施例中提供的一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构的 应用示意图； 图示说明：校准供气管道1；工作供气管道2；校准支路3；供气支路4；质量流量计5； 校准控制开关6；工作控制开关7；洁净气源8；集气管9；流量调节阀10；微舱11； A1校准供气管道A1；B1校准供气管道B1；C1校准供气管道C1；A2工作供气管道A2； B2工作供气管道B2；C2工作供气管道C2；A集气管A9；B集气管B9；C集气管C9；A微舱A11；B微 舱B11；C微舱C11。