技术摘要：
本发明涉及通过使用两种掩模膜来制造用于衍射光栅导光板的模具的方法，以及涉及制造衍射光栅导光板的方法，所述模具具有设置在其一个表面上的第一图案部分至第四图案部分。
背景技术：
近来，随着对用于实现增强现实(AR)、混合现实(MR)和虚拟现实(VR)的显示单元 的兴趣增加，已对显示单元进行积极地研究。用于实现增强现实、混合现实、或虚拟现实的 显示单元包括利用基于光的波特性的衍射的衍射光栅导光板。衍射光栅导光板包括衍射光 栅图案，所述衍射光栅图案可以内部反射或全内反射入射光以将进入衍射光栅导光板的光 引导至一点。 衍射光栅导光板包括光进入衍射光栅导光板的第一区域，以及进入衍射光栅导光 板的光离开衍射光栅导光板的第二区域。第一区域和第二区域各自设置有衍射光栅图案。 此外，开发了这样的衍射光栅导光板：其包括将光从第一区域引导至第二区域的第三区域， 以及可以更高效地将光从第三区域引导至第二区域的第四区域。在这种情况下，第三区域 和第四区域各自设置有衍射光栅图案。 使用各种方法来制造衍射光栅导光板。通常，通过使用模具的压印法来制造衍射 光栅导光板。可以使用掩模蚀刻法来制造用于衍射光栅导光板的模具。在这种情况下，用于 制造设置有期望的衍射光栅图案的衍射光栅导光板的模具基底设置有彼此形状不同的衍 射光栅图案。然而，使用不同的掩模蚀刻条件来形成彼此形状不同的衍射光栅图案，为此， 存在每次形成每个衍射光栅图案时都需要改变掩模膜的问题。 此外，存在以下问题：如果在掩模蚀刻过程期间设置在模具基底上的掩模膜热变 形或者在掩模膜与模具基底之间没有施加足够的附接力，则模具基底被损坏。 因此，需要能够在模具基底上高效地形成衍射光栅图案的技术。
技术实现要素：
技术问题 本发明致力于提供高效地制造用于衍射光栅导光板的模具的方法和制造衍射光 栅导光板的方法。 然而，本发明将解决的技术问题不限于上述技术问题，并且本领域技术人员根据 以下描述可以清楚地理解以上未提及的其他技术问题。 技术方案 本发明的一个示例性实施方案提供了制造用于衍射光栅导光板的模具的方法，所 述方法包括：制备第一掩模膜，所述第一掩模膜包括各自分别形成在独立区域中的第一开 4 CN 111587171 A 说　明　书 2/15 页 口和第二开口；将第一掩模膜附接至模具基底的一个表面，仅打开第一开口，将其上附接有 第一掩模膜的模具基底定位在其上表面上设置有网格部分的法拉第笼中，然后通过使用等 离子体蚀刻在模具基底的一个表面的通过第一开口暴露的第一区域中形成第一图案部分； 以及仅打开第二开口，然后通过使用等离子体蚀刻在模具基底的一个表面的通过第二开口 暴露的第二区域中形成第二图案部分，其中第一掩模膜包括第一基底和设置在第一基底的 一个表面上的第一粘合剂层，第一基底的玻璃化转变温度为70℃或更高且100℃或更低，以 及第一粘合剂层的粘合力为30gf/in或更大且50gf/in或更小。 本发明的另一个示例性实施方案提供了制造衍射光栅导光板的方法，所述方法包 括：制备通过制造用于衍射光栅导光板的模具的方法制造的用于衍射光栅导光板的模具； 向用于衍射光栅导光板的模具的一个表面上施加树脂组合物，所述表面上具有图案部分； 以及使树脂组合物固化。 有益效果 根据本发明的示例性实施方案的制造用于衍射光栅导光板的模具的方法可以高 效地制造用于衍射光栅导光板的模具，所述模具包括设置在其一个表面上的多种类型的图 案部分。 本发明的效果不限于上述效果，并且本领域技术人员根据本说明书和附图可以清 楚地理解以上未提及的其他效果。 附图说明 图1a是示出根据本发明的一个示例性实施方案的具有第一开口和第二开口的第 一掩模膜的图，图1b是示出具有第三开口的第二掩模膜的图，以及图1c是示出具有第一开 口、第二开口和第四开口的第一掩模膜的图。 图2a是示出根据本发明的示例性实施方案的形成第一图案部分的步骤的图，图2b 是示出形成第二图案部分的步骤的图，图2c是示出形成第三图案部分的步骤的图，以及图 2d是示出形成第四图案部分的步骤的图。 图3是根据本发明的示例性实施方案的法拉第笼的照片。 图4是示出用于衍射光栅导光板的模具的一个表面的图，该模具通过根据本发明 的示例性实施方案的制造用于衍射光栅导光板的模具的方法来制造。 图5是在本发明的实施例1中制造的掩模膜在等离子体蚀刻之后的照片。 图6是在比较例3中制造的掩模膜在等离子体蚀刻之后的照片。 图7是在比较例5中制造的掩模膜在等离子体蚀刻之后的照片。