技术摘要：
一种阳极组件频率调整设备的调整方法，调整设备包括检测、传输阳极组件频率数值的波导装置，以及用于调整阳极组件内大均压环空间位移的调整装置，波导装置一侧设有用于采集、储存、分析对比每次检测阳极组件频率数值，以及采集、储存、分析对比每次调整阳极组件内大均  全部
背景技术：
磁控管工作时的输出频率主要受阳极组件的谐振频率影响，所以需要阳极组件的 频率是一个标准值来保证磁控管输出频率的一致性，而阳极组件是一个由十片阳极板均匀 分割形成的多腔谐振系统，同时阳极板由大小均压环交错连接稳定工作模式，各部件间存 在极其复杂的电和磁的耦合关系，每个部件尺寸的轻微偏差都可能造成谐振频率的偏差， 所以生产组装后每个组件的谐振频率都各不相同。 在磁控管阳极调频作业中，通常为人工手动调频，通过人工调整其中大均压环的 空间位置改变耦合频率，这需要较多的人员进行操作，而且操作员需要相关的操作技能经 验，调整次数多，人员劳动强度大，工件调整效率慢，且质量不稳定。
技术实现要素：
本发明的目的旨在提供一种调整速度较快、调整效率较高、操作容易便捷，有效解 决现有人工对阳极组件调频的繁琐，降低人员劳动强度的阳极组件频率调整设备的调整方 法，以克服现有技术中的不足之处。 按此目的设计的一种阳极组件频率的调整设备，包括用于检测、传输阳极组件频 率数值的波导装置，以及用于调整阳极组件内大均压环空间位移的调整装置，波导装置一 侧设有用于采集、储存、分析对比每次检测检测、调整后阳极组件频率数值，以及采集、储 存、分析对比每次调整阳极组件内大均压环空间位移数据的控制装置，波导装置、调整装置 分别和控制装置形成通讯式的电连接，调整装置设有相配合连接的调节组件和升降滑块， 阳极组件的频率数值通过波导装置传输到控制装置，控制装置进行采集、储存并分析对比 数据，进而控制调整装置的调节组件，调节组件进行上挑或下压阳极组件内大均压环，实现 自动化调整阳极组件的频率。 控制装置一侧设有用于安装调整装置的固定板，调整装置还设有和升降滑块连接 的推杆，推杆带动升降滑块上下运动，升降滑块一侧安装有连接块，调节组件和连接块配合 连接，调节组件包括滑动或转动设置的上挑构件、下压构件，上挑构件、下压构件通过滑动 或转动进行交替式工作。 推杆为设置在气缸缸体内的活塞杆，气缸缸体和固定板固定连接；或者，推杆为电 动推杆，固定板设有用于安装电机的固定支架。 连接块设有翻转气缸，翻转气缸的旋转台设有转动横梁，上挑构件、下压构件的顶 部分别固定在转动横梁上；或者，连接块设有滑轨和滑块，上挑构件、下压构件的顶部分别 固定在滑块上，滑块带动上挑构件、下压构件往复移动在滑轨中。 上挑构件、下压构件内均设有用于接触阳极组件大均压环的调针；上挑构件、下压 构件底部分别对应阳极组件阳极腔设有定位齿。 3 CN 111613501 A 说　明　书 2/5 页 控制装置一侧设有LCD灯组件，LCD灯组件包括LCD灯板，LCD灯板和控制装置电连 接；控制装置设有用于采集、储存、分析对比数据的微处理器，控制装置还设有用于观察检 测的显示屏。 波导装置内设有用于放置阳极组件的检测工位。 一种阳极组件频率调整设备的调整方法，包括波导装置、调整装置、控制装置，波 导装置内设有检测工位，波导装置、调整装置分别和控制装置形成通讯式的电连接；调整装 置包括相配合连接的调节组件和升降滑块，其调整方法为： a、在控制装置上设定阳极组件频率的合格值； b、将阳极组件放置在波导装置内的检测工位中，并通过波导装置将阳极组件的频 率数值传输到控制装置，控制装置将该次检测频率数值和设定合格值作对比； b1、若检测频率数值＝设定合格值，则通过流水线进入下一道工序； b2、若检测频率数值＞设定合格值，控制装置计算检测频率数值和设定合格值之 间的差值，并根据之前采集、储存的数据线性回归曲线计算出阳极组件大均压环需要下压 的空间位移；并将该信息传递到调整装置中，调整装置接收指令后，升降滑块带动调节组件 往阳极组件作向下运动，调节组件的调试部位和阳极组件大均压环接触后，调节组件依据 计算的下压空间位移，调节组件进行下压调整阳极组件内大均压环空间位移；下压调整完 成后，升降滑块带动调节组件离开阳极组件； b3、若检测频率数值＜设定合格值，控制装置计算检测频率数值和设定合格值之 间的差值，并根据之前采集、储存的数据线性回归曲线计算出阳极组件大均压环需要上挑 的空间位移；并将该信息传递到调整装置中，调整装置接收指令后，升降滑块带动调节组件 往阳极组件作向下运动，调节组件的调试部位和阳极组件大均压环接触后，调节组件依据 计算的上挑空间位移，调节组件进行上挑调整阳极组件内大均压环空间位移；上挑调整完 成后，升降滑块带动调节组件离开阳极组件； c、重复b2或b3的步骤，直至检测的阳极组件频率数值符合设合格值，且控制装置 采集、储存b2、b3步骤所中每次调整的位移数据。 调节组件包括上挑构件、下压构件，上挑构件、下压构件转动或滑动设置在调整装 置中； 上挑构件通过转动或滑动对齐阳极组件的阳极腔；上挑构件通过升降滑块往阳极 组件大均压环运动，上挑构件底部的调针和大均压环恰好接触后，上挑构件根据计算大均 压环需要上挑的空间位移将大均压环上挑，上挑完成后，上挑构件通过升降滑块离开阳极 组件； 挑构件底部的调针和大均压环恰好接触后，由于向上运动的惯性下，大均压环出 现微小的向上位移。 下压构件通过转动或滑动对齐阳极组件的阳极腔；下压构件通过升降滑块往阳极 组件大均压环运动，下压构件底部的调针和大均压环恰好接触后，下压构件根据计算大均 压环需要下压的空间位移继续进行下移，下移完成后，下压构件通过升降滑块离开阳极组 件。 大均压环往下压，大均压环下凹改变容场，具体公式是f＝1/【2π√(LC)】。 通过批量检测阳极组件频率数值，积累获取实验数据后，控制装置获得一个关于 4 CN 111613501 A 说　明　书 3/5 页 调整装置中上挑构件或下压构件位移变化与阳极频率变化相关的曲线及经验公式；曲线调 整的意义就是因为阳极组件材料材质会有所变化，所以调整后出现金属回弹等会影响容 值，导致频率相应出现波动，影响最终的频率值，通过多个产品组的调节增加内存数据量对 比每周期的变化，通过类似于回归分析，调整或增加程序的控制方法，如调1mm这次是1MHz 的频率变化，但材料变化后可能出现1mm变化1.5MHz的频率，所以需要类似的调节智能系统 去代替人工重新手动调整参数解决固定位移可能出现的频率波动问题。 本发明的有益效果如下： a、波导装置、调整装置分别和控制装置形成通讯式的电连接，阳极组件的频率数 值通过波导装置传输到控制装置，控制装置进行采集、储存并分析对比数据，进而控制调整 装置的调节组件，调节组件进行上挑或下压阳极组件内大均压环空间位移，实现自动化调 整阳极组件的频率，有效替代传统的人工调频，降低人工所需的操作经验要求； b、调节组件包括上挑构件和下压构件，上挑构件、下压构件分别转动或滑动设置 在调整装置中，上挑构件、下压构件通过转动或滑动交替工作，分工明确，延长使用寿命； c、上挑构件、下压构件底部分别对应阳极组件阳极腔设有定位齿，起到限位作用， 便于调针对准阳极组件的大均压环。 综合上述，本发明有效代替人工重新手动调整参数解决固定位移可能出现的频率 波动问题，能自动计算需要调整大均压环的空间位移。 附图说明 图1为本发明一实施例阳极组件频率的调整设备立体结构示意图。 图2为本发明一实施例阳极组件频率的调整设备另一方位立体结构示意图。 图3为本发明一实施例阳极组件频率的调整设备调整方法的流程示意图。 图4为本发明一实施例阳极组件频率的调整设备调整方法的工作原理示意图。 图5为本发明一实施例阳极组件频率的调整设备调整方法中自动调整频率的工作 原理示意图。 图6为现有技术中人工调整频率的工作原理示意图。 图中，1为阳极组件，2为波导装置，3为调整装置，3.1为上挑构件，3.2为下压构件， 3.3为升降滑块，3.4为推杆，3.5为连接块，3.6为翻转气缸，3.7为转动横梁，3.8为旋转台，4 为控制装置,5为固定板，6为定位齿，7为LCD灯板，8为支撑架。