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导电层图案化的方法及导电结构


技术摘要:
本发明一方面提供一种导电层图案化的方法。该方法包括:于一基材的表面形成导电层,所述导电层的接触角大于等于50度小于等于90度;于所述导电层远离所述基材的表面上形成图案化的光阻层;以及利用水性蚀刻液蚀刻所述导电层,以去除所述导电层未被所述图案化的光阻层覆  全部
背景技术:
目前,采用湿蚀刻图案化导电层时,存在水性蚀刻液会快速渗透在光阻层与导电 层之间的界面的现象,造成光阻层易剥落以及蚀刻宽度变大的问题。另,在制作细线且宽线 距(例如,线宽和线距各为100μm)时这个问题会更严重,使得湿蚀刻的线宽及线间距无法细 小化。
技术实现要素:
本发明一方面提供一种导电层图案化的方法,其包括以下步骤: 于一基材的表面形成导电层,所述导电层的接触角大于等于50度小于等于90度; 于所述导电层远离所述基材的表面上形成图案化的光阻层;以及 利用水性蚀刻液蚀刻所述导电层,以去除所述导电层未被所述图案化的光阻层覆 盖的部分,进而得到图案化的导电层。 本发明另一方面提供一种导电结构,其包括基材以及位于所述基材上的图案化的 导电层,所述图案化的导电层的接触角大于等于50度小于等于90度。 该导电层图案化的方法、该导电结构中,导电层的接触角大于等于50度小于等于 90度,即导电层的表面的亲水性较差,降低了水性蚀刻液在图案化的光阻层和亲水性导电 膜的介面的渗透速度,避免了导电层侧蚀的现象,进而降低了侧蚀造成的图案化的光阻层 的剥落的风险及蚀刻宽度变大的风险,有利于提高湿蚀刻的精度。 附图说明 图1为本发明一实施例提供的导电层图案化的方法的流程图。 图2为本发明一实施例提供的导电层图案化的方法的步骤S1的示意图。 图3为本发明一实施例提供的导电层图案化的方法的步骤S2的示意图。 图4为本发明一实施例提供的导电层图案化的方法的步骤S3的示意图。 图5为本发明一实施例提供的导电层图案化的方法的步骤S4的示意图。 图6为本发明另一实施例提供的导电层图案化的方法的步骤S4的示意图。 图7为本发明一实施例提供的导电结构的平面图。 主要元件符号说明 基材 10 导电层 20 亲水性导电膜 22 弱亲水性导电膜 24 图案化的光阻层 30 3 CN 111554633 A 说 明 书 2/4 页 水性蚀刻液 40 图案化的导电层 50 导电结构 100 触控电极 42 触控驱动电极 422 触控感应电极 424 第一方向 X 第二方向 Y 走线 44 如下
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