技术摘要：
本发明提供一种微孔切割头及其打孔方法，包括脉冲激光束、割嘴、辅助气体和工件。割嘴由内壁和外壁构成，内壁和外壁之间通过辅助气体；聚焦后的脉冲激光束对准工件表面并烧蚀工件获得微孔；辅助气体对准工件表面的熔渣，在脉冲激光束对工件进行打孔的同时，辅助气体吹  全部
背景技术：
微机电系统需要在零件上获得微孔，以实现其特定功能，激光加工作为一种新型 的打孔方式，在微零件的打孔方面取得了广泛的应用，然而，在采用纳秒和皮秒激光打深径 比较大的孔时，由于熔渣在打孔过程中会在激光作用下泛出在表面，并凝固在零件表面，需 要进行后续工序进行去除，由于熔渣黏附力极强，在去除过程中会对零件的尺寸精度造成 破坏。
技术实现要素：
本发明的目的在于提供一种微孔切割头及其打孔方法，以弥补超短脉冲打孔技术 的不足，避免工件表面熔渣堆积、提高零件的尺寸精度。 为了解决以上技术问题，本发明采用的具体技术方案如下。 一种微孔切割头，其特征在于包括：脉冲激光束(1)、割嘴(2)、辅助气体(3)和工件 (4)；所述的割嘴(2)由内壁(21)和外壁(22)构成，内壁(21)和外壁(22)之间不断填充压力 为0.3~0.6GPa辅助气体(3)；聚焦后的脉冲激光束(1)对准工件(4)表面并烧蚀工件(4)获得 微孔(41)；辅助气体(3)对准工件(4)表面的熔渣(41)。 所述工件(4)可以为金属如不锈钢，也可以为非金属如聚乙烯。 所述的微孔(41)可以是圆孔，也可以是其他异形孔，其特征尺寸不超过0.5mm。 所述的脉冲激光束(1)为纳秒激光或者皮秒激光。 脉冲激光束(1)在工件(4)上进行打孔的同时，内壁(21)和外壁(22)之间的辅助气 体(3)对准熔渣(42)，并把熔渣(42)吹向脉冲激光束(1)。 本发明具有有益效果。本发明通过在脉冲激光打孔的同时采用辅助气体吹向熔 渣，由于熔渣处于熔融状态，熔渣被辅助气体吹向激光，从而被激光束二次烧蚀，可以得到 无熔渣表面，大幅度提高零件的尺寸精度。 附图说明 图1为本发明的微孔切割头结构示意图。 图中：1脉冲激光束；2割嘴；3辅助气体；4  工件；21 内壁；22  外壁；41  微孔；42  熔 渣。