技术摘要：
本发明是关于一种镀膜设备及连续镀膜方法，涉及太阳能电池生产设备领域。主要采用的技术方案为：镀膜设备，其包括：依次设置的第一腔室和第三腔室；其中，所述第一腔室和所述第三腔室相互隔离；所述第一腔室为单原子层沉积工艺腔室，用于制备所述太阳能电池膜层中的缓  全部
背景技术：
使用太阳能电池所提供的电能是解决目前能源使用的污染问题，以及能源匮乏问 题的最有效的手段。且由于薄膜太阳能电池具有性能稳定、抗辐射能力强、光电转换效率高 的特性，因此薄膜太阳能电池得到越来越多的应用。 其中，薄膜太阳能电池的结构包括设置在基板上的光吸收层、缓冲层和窗口层。现 有技术中，缓冲层是通过化学水浴法(CBD)沉积在光吸收层上的，然后通过使用物理气相沉 积法(PVD)在缓冲层上设置窗口层，进而得到成品的薄膜太阳能电池。 但是，现有技术中缓冲层和窗口层在制备是非连续的，容易在制备了缓冲层后，向 制备窗口层的设备中转移时出现缓冲层氧化的情况，进而导致膜层之间的界面性能变差， 影响太阳能电池的效率。
技术实现要素：
有鉴于此，本发明所要解决的技术问题是提供一种具有全新结构的镀膜设备及连 续镀膜方法，使其能够实现太阳能电池的功能膜层的连续制备，避免出现氧化现象，保证膜 层间的界面性能。 未解决上述技术问题，本发明请提供的一种镀膜设备，其包括： 依次设置的第一腔室和第三腔室； 其中，所述第一腔室和所述第三腔室相互隔离； 所述第一腔室为单原子层沉积工艺腔室，用于制备所述太阳能电池膜层中的缓冲 层； 所述第三腔室为低压力化学气相沉积工艺腔室，用于在所述缓冲层上制备透明导 电层。 优选的，前述的镀膜设备，其中所述镀膜设备还包括第二腔室，所述第二腔室设置 在所述第一腔室和第三腔室之间，并与所述第一腔室和所述第三腔室相互隔离，所述第二 腔室为单原子层沉积工艺腔室，用于在所述缓冲层和所述透明导电层之间制备高阻层。 优选的，前述的镀膜设备，其中所述第一腔室包括第一进料机构、第二进料机构以 及第一脉冲控制装置； 其中，所述第一进料机构用于向所述第一腔室中输送第一前驱体源，所述第二进 料机构用于向所述第一腔室中输送第二前驱体源； 所述第一脉冲控制装置用于控制所述第一进料机构与所述第二进料机构交替进 料。 优选的，前述的镀膜设备，其中所述第二腔室包括第三进料机构、第四进料机构以 4 CN 111584676 A 说　明　书 2/8 页 及第二脉冲控制装置； 其中，所述第三进料机构用于向所述第二腔室中输送第三前驱体源，所述第四进 料机构用于向所述第二腔室中输送第四前驱体源； 所述第二脉冲控制装置用于控制所述第三进料机构与所述第四进料机构交替进 料。 优选的，前述的镀膜设备，其中所述第三腔室包括第五进料机构，所述第五进料机 构用于向所述第三腔室输入第五前驱体源。 优选的，前述的镀膜设备，其中所述第三腔室还包括依次连通的多个子工艺腔室， 每个所述子工艺腔室分别设置有第五进料机构。 优选的，前述的镀膜设备，其还包括： 加热腔室，设置于所述第一腔室与所述第二腔室之间； 第一隔离腔室，设置于所述第一腔室与所述加热腔室之间； 第二隔离腔室，设置于所述第二腔室与所述第三腔室之间； 其中，所述第一腔室、所述加热腔室、所述第二腔室、所述第三腔室均为真空腔室。 优选的，前述的镀膜设备，其中所述第一隔离腔室的第一侧壁设置有第一隔离气 体喷入装置，所述第一隔离气体喷入装置用于向其所在的所述第一隔离腔室内喷射隔离气 体，所述第一隔离腔室的第二侧壁设置有第一气体泵出装置，其中所述第一侧壁和所述第 二侧壁相对设置； 所述第二隔离腔室的第一侧壁设置有第二隔离气体喷入装置，所述第二隔离气体 喷入装置用于向其所在的第二隔离腔室内喷射所述隔离气体，所述第二隔离腔室的第二侧 壁设置有第二气体泵出装置，其中所述第一侧壁和所述第二侧壁相对设置。 优选的，前述的镀膜设备，其还包括： 预热腔室，设置于所述第一腔室之前，用于对待镀膜的基板预热； 冷却腔室，设置于所述第三腔室之后，用于冷却第三腔室输出的基板。 另外，本发明还提供一种连续镀膜方法，应用上述镀膜设备制备的太阳能电池膜 层，其包括： 连在基板上依次层叠的制备缓冲层和透明导电层； 其中，所述缓冲层采用单原子层沉积工艺制备，所述透明导电层采用低压力化学 气相沉积工艺制备。 优选的，前述的连续镀膜方法，其中在所述缓冲层和透明导电层之间制备高阻层， 所述高层采用单原子层沉积工艺制备。 优选的，前述的连续镀膜方法，其中所述缓冲层为锌氧硫膜层，和/或，所述高阻层 为本征氧化锌膜层，和/或，所述透明导电层为掺硼氧化锌膜层。 借由上述技术方案，本发明镀膜设备及连续镀膜方法至少具有下列优点： 本发明技术方案中，镀膜设备包括依次连接的第一腔室和第三腔室，两个腔室能 够分别制作太阳能电池的缓冲层和透明导电层即前电极层，且第一腔室为单原子层沉积工 艺腔室，第三腔室为低压力化学气相沉积工艺腔室。由于两个腔室是连接的，则基板在上一 个腔室制备了对应的膜层之后，能够直接到下一个腔室制备另一膜层，即本发明实施例提 供的镀膜设备能够连续的进行太阳能膜层的制备，解决了非连续制备膜层时，先制备的膜 5 CN 111584676 A 说　明　书 3/8 页 层发生氧化的情况，保证了膜层之间的界面性能；另外，本发明实施例提供的设备是两个工 艺腔室连接在一起的，能够实现膜层的连续制作，所以能够有效的提高膜层的生产效率，即 提高太阳能电池的生产效率。 上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段， 并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。 附图说明 图1是本发明的实施例提供的一种镀膜设备的第一视角结构示意图； 图2是本发明的实施例提供的一种镀膜设备的第二视角结构示意图； 图3是本发明的实施例提供的另一种镀膜设备的结构示意图。