技术摘要： 本发明提供一种衬底弯曲形状的测量方法、装置、存储介质及终端。该方法沿不同的圆周对衬底的表面进行圆周线扫描，获得不同圆周上的多条扫描曲线；获得衬底的圆心高度h0以及每个圆周上的多条扫描曲线的高度统计值中的最大值himax和最小值himin；根据最大值、最小值与圆 全部
背景技术：
在半导体器件的制造过程中，各种衬底的制造是其中的重要环节，在衬底的机械
加工过程中，受各种因素的影响，很容易出现衬底表面凸起或者凹陷等形状。例如常用的蓝
宝石衬底，在实施了研磨加工的蓝宝石衬底中，由于加工变形的残留或上下表面的精加工
的表面粗糙度的差异，通常会在衬底上产生翘曲或弯曲。例如，在单面研磨的衬底中，上下
面的表面粗糙度不同成为翘曲或弯曲的主要原因；在双面研磨的衬底中，除了上下面的表
面粗糙度稍有不同之外，衬底面内的表面粗糙度略微偏差也成为翘曲或弯曲的主要原因。
特别是在大口径衬底中，衬底面内的表面粗糙度是引起衬底翘曲或弯曲的重要原因。衬底
翘曲或者弯曲会直接影响后续衬底的外延质量，因此对衬底弯曲的测量及衬底面型的划分
显得尤为重要。
为了测量衬底的弯曲形状，现有技术中，通常采用面扫描方式对衬底表面进行面
扫描，根据扫描结果测量衬底的弯曲形状。然而面扫描的方式比较耗时，并且通常还需要人
工复检，耗时耗力，不利于量产。并且人工复检会使测量结果与衬底的实际弯曲形状存在较
大的偏差。
基于现有技术中的上述问题，需要一种省事省力同时又能够保证测量结果准确性
的衬底弯曲形状的测量方法。
技术实现要素：
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种衬底弯曲形状的测量
方法、装置、存储介质及终端。该方法沿不同的圆周对所述衬底的表面进行圆周线扫描，获
得不同圆周上的多条扫描曲线；获得所述衬底的圆心高度h0以及每个圆周上的多条所述扫
描曲线的高度统计值中的最大值himax和最小值himin；根据所述最大值、最小值与所述圆心高
度的关系判断所述衬底的弯曲类型。该方法能够节约衬底弯曲测量的时间，提高测量效率，
利于量产，同时保证了测量结果的准确性。
为实现上述目的及其它相关目的，本发明提供了一种衬底弯曲形状的测量方法：
该方法包括以下步骤：
提供待测量的衬底；
沿不同的圆周对所述衬底的表面进行圆周线扫描，获得不同圆周上的多条扫描曲
线；
获得所述衬底的圆心高度h0；
获得每个圆周上的多条所述扫描曲线的高度统计值中的最大值himax和最小值
himin；
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根据所述最大值、最小值与所述圆心高度的关系判断所述衬底的弯曲类型；
其中，i表示对所述衬底的表面进行圆周线扫描的不同的圆周。
可选地，该衬底弯曲形状的测量方法还包括以下步骤：
如果所述扫描曲线的所述最大值himax等于所述圆心高度h0或者最小值himin等于所
述圆心高度h0，则判断所述衬底仅在一个方向上弯曲；
如果所述扫描曲线的所述最大值himax和最小值himin以及所述圆心高度h0满足himin
himin，则判断所述衬底在不同方向上的弯曲方向相同。
可选地，该衬底弯曲形状的测量方法还包括以下步骤：
获得不同圆周上的扫描曲线的高度平均值hi；
根据所述圆心高度ho与自所述衬底的圆心向外的不同圆周上的所述扫描曲线的
所述高度平均值hi的关系判断所述衬底的弯曲方向。
可选地，该衬底弯曲形状的测量方法还包括以下步骤：
如果所述圆心高度ho与自所述衬底的圆心向外的不同圆周上的所述扫描曲线的
所述高度平均值hi依次增大，则判断所述衬底弯曲呈向下凹型；
如果所述圆心高度ho与自所述衬底的圆心向外的不同圆周上的所述扫描曲线的
所述高度平均值hi依次减小，则判断所述衬底弯曲呈向上凸型。
可选地，该衬底弯曲形状的测量方法还包括以下步骤：
计算不同圆周上的所述扫描曲线的高度的标准差STDi；
根据距离所述衬底中心最远的圆周上的所述扫描曲线的高度标准差STDM与高度
平均值hM的比值STDM/hM判断所述弯曲曲线在不同方向上偏离所述衬底的中心的程度。
可选地，该衬底弯曲形状的测量方法还包括以下步骤：
当所述STDM/hM的绝对值小于10％时，判断所述衬底在不同方向上偏离所述衬底的
中心的程度相同；
当所述STDM/hM的绝对值大于10％时，判断所述衬底在不同方向上偏离所述衬底的
中心的程度不同。
可选地，该衬底弯曲形状的测量方法还包括以下步骤：
根据所述圆心高度ho与所述距离所述衬底中心最远的圆周上的所述扫描曲线的
高度平均值hM的差值|hM-ho|判断衬底的弯曲程度，所述差值|hM-ho|越大，则判断所述衬底
的弯曲程度越大。
根据本发明的另一方面，还提供了一种衬底弯曲形状的测量装置，该装置包括：
衬底承载装置，用于承载待测量的衬底；
线扫描装置，用于沿不同的圆周对所述衬底的表面进行圆周线扫描，获得不同圆
周上的多条扫描曲线；
第一数据处理单元，用于获得所述衬底的圆心高度h0以及每个圆周上的多条所述
扫描曲线的高度统计值中的最大值himax和最小值himin；
第一判断单元，根据所述最大值、最小值与所述圆心高度的关系判断所述衬底的
弯曲类型；
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其中，i表示对所述衬底的表面进行圆周线扫描的不同的圆周。
可选地，所述第一判断单元还设置为：
如果所述扫描曲线的所述最大值himax等于所述圆心高度h0或者最小值himin等于所
述圆心高度h0，则判断所述衬底仅在一个方向上弯曲；
如果所述扫描曲线的所述最大值himax和最小值himin以及所述圆心高度h0满足himin
himin，则判断所述衬底在不同方向上的弯曲方向相同。
可选地，该衬底弯曲形状的测量装置还包括：
第二数据处理单元，用于计算不同圆周上的所述扫描曲线的高度的标准差STD以
及不同圆周上的扫描曲线的高度平均值hi；
第二判断单元，用于根据距离所述衬底中心最远的圆周上的所述扫描曲线的高度
标准差STDM与高度平均值hM的比值STDM/hM判断所述弯曲曲线在不同方向上偏离所述衬底
的中心的程度。
可选地，所述第二判断单元还配置为根据所述圆心高度ho与自所述衬底的圆心向
外的不同圆周上的所述扫描曲线的所述高度平均值hi的关系判断所述衬底的弯曲方向。
本发明的又一方面还提供了一种存储介质，所述存储介质上存储有计算机程序，
其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现本发明所述的衬底弯曲形状的测量方
法。
本发明的另一方面还提供了一种终端，该终端包括：处理器及存储器；
所述存储器用于存储计算机程序；
所述处理器用于执行所述存储器存储的所述计算机程序，以使所述终端执行本发
明所述的衬底弯曲形状的测量方法。
如上所述，本发明提供的衬底弯曲评价方法、评价装置、存储介质及终端，至少具
备如下有益技术效果：
本发明的方法沿不同的圆周对所述衬底的表面进行圆周线扫描，获得不同圆周上
的多条扫描曲线；获得所述衬底的圆心高度h0以及每个圆周上的多条所述扫描曲线的高度
统计值中的最大值himax和最小值himin；根据所述最大值、最小值与所述圆心高度的关系判断
所述衬底的弯曲类型。该方法采用线扫描方式对衬底表面进行扫描，相比于传统的面扫描
更加节约时间，大约可节约30％的时间。另外，该方法的整个过程无需人工判断，也无需进
行人工复检，大大节约了人力成本。本发明的上述方法施行过程简单，判断过程无需人工参
与，有利于进行衬底弯曲形状测量的量产。
对于具有复杂的弯曲曲线的衬底，该方法能够保证判断结果的准确性，进而能够
准确划分衬底的面型，并根据划分的面型调整后续衬底外延参数，确保外延质量。
本发明的测量装置、存储介质及终端能够执行本发明的上述方法，因此同样具有
上述技术效果。
附图说明
图1a～图1d显示为衬底的不同弯曲类型的示意图。
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图2显示为本发明实施例一提供的衬底弯曲形状的测量方法的流程图。
图3显示为本发明一实施例中对衬底进行扫描的圆周示意图。
图4显示为本发明的优选实施例中对蓝宝石晶圆进行线扫描的扫描曲线的示意
图。
图5显示为本发明的另一优选实施例中对蓝宝石晶圆进行线扫描的扫描曲线的示
意图。
图6显示为本发明的另一优选实施例中对蓝宝石晶圆进行线扫描的扫描曲线的示
意图。
图7显示为本发明另一实施例提供的衬底弯曲形状的测量装置的组成示意图。
图8显示为本发明另一实施例提供的终端的组成示意图。
