技术摘要：
提供制造片和框体中的至少任意一方的方法，抑制在与该任意一方对应的区域内产生碎裂。该方法是对板状的被加工物进行加工而制造规定的形状的片和从被加工物分割了片而得的框体中的至少任意一方的方法，其中，该方法具有如下的步骤：盾构隧道形成步骤，按照将对于被加工  全部
背景技术：
在智能手机、平板型PC等移动设备中搭载有相机，在相机的比物镜靠外侧(即被摄 体侧)的位置，为了保护物镜而安装有由石英玻璃、蓝宝石等形成的圆盘状的玻璃罩。 玻璃罩例如如下制造：在石英玻璃制的基板上形成由抗蚀剂材料构成的规定的图 案，然后使用氢氟酸等蚀刻液，通过蚀刻将未被抗蚀剂材料覆盖的区域去除，由此制造玻璃 罩(例如参照专利文献1)。但是，存在蚀刻处理花费时间、生产率较差的问题。 因此，提出了如下的方法：对由石英玻璃、蓝宝石等形成的基板照射激光束，从而 形成具有细孔和围绕细孔的变质区域的被称为盾构隧道的改质区域(例如参照专利文献 2)。在该方法中，在沿着基板的分割预定线形成多个盾构隧道之后，使用超声波赋予垫或超 声波振子对基板施加超声波，从而沿着分割预定线将基板分割。 在专利文献2记载的方法中，通过超声波的施加而将盾构隧道破坏，因此与作为化 学反应工艺的蚀刻处理相比，能够在短时间内对基板进行加工。但是，在施加超声波时，使 超声波赋予垫与被加工物的一个面接触、或使超声波振子隔着保护带而与被加工物的另一 个面接触，因此有时在盾构隧道以外的区域(例如与玻璃罩那样的规定的形状的小片(即 片)对应的区域)内产生碎裂。 专利文献1：日本特开2012-148955号公报 专利文献2：日本特开2015-226924号公报
技术实现要素：
本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供制造片和框体中的至少任意一 方的方法，在对被加工物进行加工而制造规定的形状的片和从被加工物分割了该片的框体 中的至少任意一方时，抑制在与片和框体中的任意一方对应的区域内产生碎裂。 根据本发明的一个方式，提供制造片和框体中的至少任意一方的方法，该方法对 板状的被加工物进行加工而制造规定的形状的片以及从被加工物分割了片而得的框体中 的至少任意一方，其中，方法具有如下的步骤：盾构隧道形成步骤，按照将对于被加工物具 有透过性的波长的脉冲状的激光束的聚光区域定位于被加工物的内部的方式从被加工物 的正面侧沿着被加工物的分割预定线照射激光束，从而沿着分割预定线形成分别具有细孔 和围绕细孔的变质区域的多个盾构隧道；以及分割步骤，在盾构隧道形成步骤之后，经由液 体对被加工物施加超声波，从而将沿着分割预定线形成的多个盾构隧道破坏而从被加工物 分割片。 优选该分割预定线按照未到达该被加工物的外周端部的方式设定于比该外周端 部靠内侧的区域，在该盾构隧道形成步骤中，沿着位于比该外周端部靠内侧的位置的该分 3 CN 111590222 A 说　明　书 2/9 页 割预定线形成该多个盾构隧道。另外，优选该液体是水。 在本发明的一个方式的制造片和框体中的至少任意一方的方法中，在通过盾构隧 道形成步骤沿着被加工物的分割预定线形成多个盾构隧道之后，经由液体对被加工物施加 超声波，从而将多个盾构隧道破坏而从被加工物分割片。 这样，在本发明的分割步骤中，未使超声波赋予垫等与被加工物接触，因此能够抑 制在与规定的形状的片和框体中的至少任意一方对应的区域内产生碎裂。另外，通过对被 加工物赋予超声波而将盾构隧道破坏，因此与蚀刻处理相比，能够在短时间内对被加工物 进行加工。 附图说明 图1的(A)是被加工物的立体图，图1的(B)是被加工物单元的立体图。 图2是激光加工装置的立体图。 图3是示出盾构隧道形成步骤的立体图。 图4的(A)是示出一个盾构隧道的构造的立体图，图4的(B)是示出沿着分割预定线 形成有多个盾构隧道的被加工物的一部分的剖视图。 图5的(A)是超声波施加装置的局部剖视侧视图，图5的(B)是示出经由液体对被加 工物施加超声波的情况的图，图5的(C)是示出对片进行拾取的情况的图。 图6的(A)是一个片的立体图，图6的(B)是一个框体的立体图。 图7是示出第1实施方式的片和框体的制造方法的流程图。 图8的(A)是示出经由液体对被加工物施加超声波的情况的图，图8的(B)是示出对 片进行拾取的情况的图。 标号说明 2：激光加工装置；4：基台；6：基部；8：壁部；10：卡盘工作台；10a：保持面；11：被加 工物；11a：正面；11b：背面；11c：外周端部；11d：盾构隧道；11e：细孔；11f：变质区域；12：激 光束照射单元；12a：加工头；12b：拍摄单元；13：分割预定线；15：划片带；16：Y轴移动单元； 17：环状框架；18：Y轴导轨；19：被加工物单元；20：Y轴移动台；21：片；22：Y轴滚珠丝杠；23： 框体；24：Y轴脉冲电动机；26：X轴移动单元；28：X轴导轨；30：X轴移动台；32：X轴滚珠丝杠； 34：X轴脉冲电动机；36：支承台；38：超声波施加装置；40：液体；42：容器；44：腿部；46：支承 部；48：夹具单元；50：超声波产生单元；54：搬送装置；54a：臂部；54b：头部；54c：吸附垫；58： 超声波施加装置；60：超声波变幅器；60a：前端部；62：容器；62a：排液口；64：支承台；64a：支 承面；70：喷嘴；74：搬送装置；74a：臂部；74b：头部；74c：吸附垫；L：激光束。