技术摘要：
本发明公开了一种提高ITO靶材坯体强度的方法，其特征在于，在向石膏模中浇注ITO浆料前，首先配置保护液，然后将保护液涂覆于石膏模型腔表面，然后再浇注ITO浆料，在ITO浆料浇注完成后，在石膏模中裸露的ITO浆料表面喷洒保护液，成型后脱模即可得到表面裹附有固化保护膜 全部
背景技术：
ITO坯体是由铟锡氧化物制成的坯体，成型技术通常分为干法成型和湿法成型两 大类。干法成型是采用先模压再冷等静压的方法制备，湿法成型分为常压注浆成型、压滤注 浆成型等方法，注浆成型通常是将预先制备好的ITO浆料浇注到石膏模中，使ITO坯体成型， 该方法可得到均匀的板状坯体，因此应用较为广泛。 但是，由于ITO靶材坯体的粉末原料属于瘠性原料，粘性较差，且靶材产品对于纯 度的要求较高，因此不能使用黏土等添加物，导致制备的ITO靶材坯体脆性较大，抗弯强度 较差。为了提高ITO靶材坯体的强度，通常会在注浆浆料中会添加有机粘结剂，但一般的粘 结剂在成型初期对坯体的强度有一定提高，随着坯体的逐步干燥，粘结剂的作用会逐渐减 弱，导致坯体强度随干燥而降低。并且，ITO坯体后续还要经过脱脂、烧结多个工序，转移过 程中容易开裂，成品率低。 中国专利CN108298977A公开了一种提高ITO靶材坯体强度的方法，同样是通过向 注浆材料中添加粘接剂的方法来提高强度，尽管该粘接剂采用的是有机纤维和有机分散剂 的混合物，但是由于是直接加入到了浆料中，因此在后续的干燥、脱脂、烧结等工序中仍然 不可避免地出现强度降低的问题，无法彻底避免开裂等问题。
技术实现要素：
本发明需要解决的技术问题是提供一种提高ITO靶材坯体强度的方法，彻底避免 ITO靶材坯体生产过程中出现开裂等问题，提高成品率。 为解决上述技术问题，本发明所采取的技术方案如下。 一种提高ITO靶材坯体强度的方法，在向石膏模中浇注ITO浆料前，首先配置保护 液，然后将保护液涂覆于石膏模型腔表面，然后再浇注ITO浆料，在ITO浆料浇注完成后，在 石膏模中裸露的ITO浆料表面喷洒保护液，成型后脱模即可得到表面裹附有固化保护膜的 ITO浆料坯体。 上述一种提高ITO靶材坯体强度的方法，所述保护液为水基硅橡胶、固化剂和水的 混合溶液。 上述一种提高ITO靶材坯体强度的方法，所述固化剂为硅烷偶联剂。 上述一种提高ITO靶材坯体强度的方法，所述固化剂为乙烯基硅烷、硫基硅烷、氨 基硅烷及酰胺基硅烷中的至少一种。 上述一种提高ITO靶材坯体强度的方法，所述水基硅橡胶、固化剂和水的比例为20 ～40:0.6～1.5:100。 由于采用了以上技术方案，本发明所取得技术进步如下。 本发明的应用，可在ITO靶材坯体表面形成水基硅橡胶固化保护膜，从而对ITO靶 3 CN 111593304 A 说 明 书 2/2 页 材坯体起固定作用，大大提高了坯体的强度，避免了ITO靶材坯体生产过程中出现开裂等问 题的出现，提高了转移成品率。水基硅橡胶固化保护膜具有亲水性透气性高拉伸性，不影响 坯体干燥过程中的失水和收缩。本发明所形成的固化保护膜可在后续的高温脱脂工序中除 去，表面硅杂质可通过后期磨削去除，不会给ITO靶材坯体带入杂质，保证了ITO靶材坯体的 纯度。
本发明公开了一种提高ITO靶材坯体强度的方法，其特征在于，在向石膏模中浇注ITO浆料前，首先配置保护液，然后将保护液涂覆于石膏模型腔表面，然后再浇注ITO浆料，在ITO浆料浇注完成后，在石膏模中裸露的ITO浆料表面喷洒保护液，成型后脱模即可得到表面裹附有固化保护膜 全部
背景技术：
ITO坯体是由铟锡氧化物制成的坯体，成型技术通常分为干法成型和湿法成型两 大类。干法成型是采用先模压再冷等静压的方法制备，湿法成型分为常压注浆成型、压滤注 浆成型等方法，注浆成型通常是将预先制备好的ITO浆料浇注到石膏模中，使ITO坯体成型， 该方法可得到均匀的板状坯体，因此应用较为广泛。 但是，由于ITO靶材坯体的粉末原料属于瘠性原料，粘性较差，且靶材产品对于纯 度的要求较高，因此不能使用黏土等添加物，导致制备的ITO靶材坯体脆性较大，抗弯强度 较差。为了提高ITO靶材坯体的强度，通常会在注浆浆料中会添加有机粘结剂，但一般的粘 结剂在成型初期对坯体的强度有一定提高，随着坯体的逐步干燥，粘结剂的作用会逐渐减 弱，导致坯体强度随干燥而降低。并且，ITO坯体后续还要经过脱脂、烧结多个工序，转移过 程中容易开裂，成品率低。 中国专利CN108298977A公开了一种提高ITO靶材坯体强度的方法，同样是通过向 注浆材料中添加粘接剂的方法来提高强度，尽管该粘接剂采用的是有机纤维和有机分散剂 的混合物，但是由于是直接加入到了浆料中，因此在后续的干燥、脱脂、烧结等工序中仍然 不可避免地出现强度降低的问题，无法彻底避免开裂等问题。
技术实现要素：
本发明需要解决的技术问题是提供一种提高ITO靶材坯体强度的方法，彻底避免 ITO靶材坯体生产过程中出现开裂等问题，提高成品率。 为解决上述技术问题，本发明所采取的技术方案如下。 一种提高ITO靶材坯体强度的方法，在向石膏模中浇注ITO浆料前，首先配置保护 液，然后将保护液涂覆于石膏模型腔表面，然后再浇注ITO浆料，在ITO浆料浇注完成后，在 石膏模中裸露的ITO浆料表面喷洒保护液，成型后脱模即可得到表面裹附有固化保护膜的 ITO浆料坯体。 上述一种提高ITO靶材坯体强度的方法，所述保护液为水基硅橡胶、固化剂和水的 混合溶液。 上述一种提高ITO靶材坯体强度的方法，所述固化剂为硅烷偶联剂。 上述一种提高ITO靶材坯体强度的方法，所述固化剂为乙烯基硅烷、硫基硅烷、氨 基硅烷及酰胺基硅烷中的至少一种。 上述一种提高ITO靶材坯体强度的方法，所述水基硅橡胶、固化剂和水的比例为20 ～40:0.6～1.5:100。 由于采用了以上技术方案，本发明所取得技术进步如下。 本发明的应用，可在ITO靶材坯体表面形成水基硅橡胶固化保护膜，从而对ITO靶 3 CN 111593304 A 说 明 书 2/2 页 材坯体起固定作用，大大提高了坯体的强度，避免了ITO靶材坯体生产过程中出现开裂等问 题的出现，提高了转移成品率。水基硅橡胶固化保护膜具有亲水性透气性高拉伸性，不影响 坯体干燥过程中的失水和收缩。本发明所形成的固化保护膜可在后续的高温脱脂工序中除 去，表面硅杂质可通过后期磨削去除，不会给ITO靶材坯体带入杂质，保证了ITO靶材坯体的 纯度。
