技术摘要：
本发明公开了一种缺陷检测装置。该缺陷检测装置包括：工件台；同步控制器，用于接收工件台提供的触发指令，并产生多种同步控制信号；明场照明光源，与所述同步控制器连接，用于接收明场同步控制信号，并根据明场同步控制信号进行开启操作；和/或，暗场照明光源，与同步  全部
背景技术：
自动光学检测(Automatic  Optical  Inspection，AOI)是一种快速的、自动的缺陷 检测技术，可实现晶圆或芯片等待检测物体的快速、高精度、无损伤检测。该技术广泛地应 用于PCB、集成电路、LED、TFT以及太阳能面板等领域。 在现有技术中，缺陷检测装置包括探测器、存储单元和工件台等。在利用缺陷检测 装置检测待检测物体的缺陷时，探测器需要对待检测物体进行图像采集，并将拍照所得的 图像信息传输至存储单元并完成存储。并且，通常情况下，只有在缺陷检测装置完成当前图 像的传输和存储以后，探测器才可以对待检测物体的下一个检测位置进行图像采集。 但是，缺陷检测装置传输和存储图像需要的时间较长，为了保证图像数据能够完 成传输和存储，缺陷检测装置的工件台只能以较低的速度运动，以使缺陷检测装置连续两 次采集的图像连续。图像的传输与保存，与工件台的运动速度不匹配，严重制约了缺陷检测 的效率。
技术实现要素：
本发明提供一种缺陷检测装置，以提高缺陷检测效率。 本发明实施例提供了一种缺陷检测装置，包括： 工件台，用于承载待检测物体，并控制所述待检测物体运动； 同步控制器，与所述工件台连接，用于接收所述工件台提供的触发指令，并根据所 述触发指令产生多种同步控制信号；其中，所述同步控制信号包括明场同步控制信号和/或 暗场同步控制信号； 明场照明光源，与所述同步控制器连接，用于接收所述明场同步控制信号，并根据 所述明场同步控制信号进行开启操作，以对所述待检测物体进行明场模式照明；和/或，暗 场照明光源，与所述同步控制器连接，用于接收所述暗场同步控制信号，并根据所述暗场同 步控制信号进行开启操作，以对所述待检测物体进行暗场模式照明； 成像组件，用于对经过所述待检测物体后的光束进行成像处理； 分光棱镜，位于所述成像组件的出光侧，用于将入射至所述分光棱镜的入射光束 分成至少两束沿不同方向传播的出射光束； 至少两个探测器，每个所述探测器均与所述同步控制器连接，用于接收所述明场 同步控制信号或所述暗场同步控制信号，并根据所述明场同步控制信号或所述暗场同步控 制信号进行开启操作；每个所述探测器用于接收一路所述出射光束，并对根据所述出射光 束对所述待检测物体进行缺陷检测。 进一步地，所述缺陷检测装置包括所述暗场照明光源； 所述分光棱镜用于将入射至所述分光棱镜的入射光束分成沿不同方向传播的第 4 CN 111610195 A 说　明　书 2/8 页 一出射光束和第二出射光束； 所述至少两个探测器包括第一黑白探测器和第二黑白探测器；其中，所述第一黑 白探测器用于接收所述第一出射光束，所述第二黑白探测器用于接收所述第二出射光束； 所述暗场同步控制信号包括第一暗场同步控制信号和第二暗场同步控制信号；所 述同步控制器用于交替产生所述第一暗场同步控制信号和第二暗场同步控制信号； 所述第一暗场同步控制信号用于依次控制所述第一黑白探测器和所述暗场照明 光源开启； 所述第二暗场同步控制信号用于依次控制所述第二黑白探测器和所述暗场照明 光源开启。 进一步地，所述缺陷检测装置包括所述明场照明光源； 所述分光棱镜用于将入射至所述三分束棱镜的入射光束至少分成沿不同方向传 播的第一出射光束和第二出射光束； 所述至少两个探测器包括第一黑白探测器和第二黑白探测器；其中，所述第一黑 白探测器用于接收所述第一出射光束，所述第二黑白探测器用于接收所述第二出射光束； 所述明场同步控制信号包括第一明场同步控制信号和第二明场同步控制信号；所 述同步控制器用于交替产生所述第一明场同步控制信号和第二明场同步控制信号； 所述第一明场同步控制信号用于依次控制所述第一黑白探测器和所述明场照明 光源开启；所述第二明场同步控制信号用于依次控制所述第二黑白探测器和所述明场照明 光源开启。 进一步地，所述分光棱镜为三分束棱镜；所述三分束棱镜用于将入射至所述分光 棱镜的入射光束分成所述第一出射光束、所述第二出射光束和第三出射光束； 所述至少两个探测器还包括彩色探测器；所述彩色探测器与所述第一黑白探测器 共同接收所述第一明场同步控制信号，或，所述彩色探测器与所述第二黑白探测器共同接 收所述第二明场同步控制信号；所述彩色探测器用于接收所述第三出射光束，并根据所述 第三出射光束对所述待检测物体进行拍照。 进一步地，所述缺陷检测装置包括所述明场照明光源和所述暗场照明光源； 所述分光棱镜用于将入射至所述三分束棱镜的入射光束至少分成沿不同方向传 播的第一出射光束和第二出射光束； 所述至少两个探测器包括第一黑白探测器和第二黑白探测器；其中，所述第一黑 白探测器用于接收所述第一出射光束，所述第二黑白探测器用于接收所述第二出射光束； 所述同步控制器用于交替产生所述明场同步控制信号和暗场同步控制信号； 所述明场同步控制信号用于依次控制所述第一黑白探测器和所述明场照明光源 开启； 所述暗场同步控制信号用于依次控制所述第二黑白探测器和所述暗场照明光源 开启。 进一步地，所述分光棱镜为三分束棱镜；所述三分束棱镜用于将入射至所述分光 棱镜的入射光束分成所述第一出射光束、所述第二出射光束和第三出射光束； 所述至少两个探测器还包括彩色探测器；所述彩色探测器与所述第一黑白探测器 共同接收所述明场同步控制信号；所述彩色探测器用于接收所述第三出射光束，并根据所 5 CN 111610195 A 说　明　书 3/8 页 述第三出射光束对所述待检测物体进行拍照。 进一步地，所述缺陷检测装置还包括至少两个探测器连接组件；所述探测器连接 组件位于所述出射光束的传播路径上，且所述探测器连接组件与所述探测器一一对应。 进一步地，所述缺陷检测装置还包括明场照明组件和/或暗场照明组件； 所述明场照明组件位于所述明场照明光源出射的光束的传播路径上； 所述暗场照明组件位于所述暗场照明光源出射的光束的传播路径上。 进一步地，所述缺陷检测装置还包括半透半反透镜； 所述半透半反透镜用于将所述明场照明光源发出的光束反射至所述待检测物体， 以及，用于将所述待检测物体反射或散射的光束透射至所述成像组件。 进一步地，所述明场照明光源和所述暗场照明光源均为闪烁光源。 进一步地，所述同步控制器为可编程控制器件或同步板卡。 本发明实施例提供的缺陷检测装置，通过设置同步控制器、至少两个探测器，以及 明场照明光源和/或暗场照明光源，在缺陷检测过程的不同时段，可以利用明场照明光源提 供明场照明，或者，利用暗场照明光源提供暗场照明，并利用同步控制器控制不同的探测器 进行缺陷探测，可以在其中一台探测器进行图像传输和存储时，利用至少另一台探测器进 行图像采集，从而提高了缺陷检测的效率。 附图说明 图1是本发明实施例提供的缺陷检测装置的结构示意图； 图2是本发明实施例提供的另一缺陷检测装置的结构示意图； 图3是与图2中的缺陷检测装置相对应的控制时序图； 图4是本发明实施例提供的又一缺陷检测装置的结构示意图； 图5是与图4中的缺陷检测装置相对应的控制时序图； 图6是与图4中的缺陷检测装置相对应的另一控制时序图； 图7是本发明实施例提供的再一缺陷检测装置的结构示意图； 图8是与图7中的缺陷检测装置相对应的控制时序图； 图9是与图7中的缺陷检测装置相对应的另一控制时序图； 图10是本发明实施例提供的再一缺陷检测装置的结构示意图。