技术摘要：
本发明揭示了干法刻蚀机用多功能安装调试平台，包括升降移动的升降平台装置、设于升降平台装置内的旋转装置、以及设于旋转装置顶部的伸缩平台装置；伸缩平台装置包括基板、设于基板顶部的导轨连扳、设于导轨连扳上沿其长度方向设置的上导轨和下导轨、配合上导轨沿其滑  全部
背景技术：
在显示面板制造领域，普遍使用干法刻蚀工艺实现图案化的膜层，而使用干法刻 蚀工艺需要干法刻蚀机完成。然而，干法刻蚀工艺极易产生产品缺陷，如干法刻蚀机制程腔 随使用时间变长导致腔壁起皮、夹杂物沉积、RF射频干扰等导致刻蚀机性能下降，就需要进 行产品关键尺寸和缺陷等相关参数的检测，其安装调试工作目前十分困难。
技术实现要素：
本发明的目的是为了解决上述技术问题，而提供干法刻蚀机用多功能安装调试平 台，从而在干法刻蚀机内有效调试液晶显示屏的位置，达到最佳刻蚀效果。为了达到上述目 的，本发明技术方案如下： 干法刻蚀机用多功能安装调试平台，包括升降移动的升降平台装置、设于升降平 台装置内的旋转装置、以及设于旋转装置顶部的伸缩平台装置；伸缩平台装置包括基板、设 于基板顶部的导轨连扳、设于导轨连扳上沿其长度方向设置的上导轨和下导轨、配合上导 轨沿其滑动的上手臂支架、配合下导轨沿其滑动的下手臂支架、以及相对平行设于上手臂 支架侧边和设于下手臂支架侧边的若干手臂支撑体，手臂支撑体承载待刻蚀产品，旋转装 置内旋转的主轴连接基板。 具体的，所述升降平台装置包括下盖板、设于下盖板顶部的下平台、设于下平台上 方的支架、设于支架的上方且与下平台固定连接的上平台、设于支架上贯穿上平台向上延 伸的若干光杆、以及设于光杆顶端的上盖板。 具体的，所述支架与上平台之间通过若干丝杆连接。 具体的，所述上平台和下平台之间设有贯穿支架的若干导柱。 具体的，所述旋转装置包括旋转电机、与旋转电机的转轴配合连接旋转的主轴、以 及套设于旋转电机外周的固定壳体，固定壳体贯穿上平台固定于上盖板内。 具体的，所述转轴与主轴之间通过联轴器连接，所述联轴器与主轴之间配合连接 密封件。 具体的，所述固定壳体包括密封旋转电机的第一壳体、设于第一壳体顶部的用于 容置主轴下部的第二壳体。 具体的，所述下导轨对称位于上导轨的两侧。 具体的，所述下手臂支架架置于下导轨上呈框体结构，所述上手臂支架置于下手 臂支架的内部。 具体的，所述上手臂支架上的各手臂支撑体和下手臂支架上的各手臂支撑体相对 应间隔设置。 3 CN 111584410 A 说　明　书 2/3 页 与现有技术相比，本发明干法刻蚀机用多功能安装调试平台的有益效果主要体现 在： 通过设置相互配合的升降平台装置和旋转装置，实现伸缩平台装置可控的升降移 动和旋转移动，升降平台装置的内部设置旋转装置，由丝杆配合支架、支架通过光杆配合上 盖板，达到上盖板平稳升降的效果；伸缩平台装置内的上手臂支架和下手臂支架由同一导 轨连板上移动，保证上下相对应的手臂支撑体平行位置，承载运输待刻蚀产品时能有效换 位延长位置，达到精准运输的长度控制，保证加工效率。 附图说明 图1为本发明实施例的结构示意图； 图2为本实施例主视剖视结构示意图； 图3为本实施例中旋转装置的剖视结构示意图； 图4为本实施例侧视结构示意图； 图5为本实施例伸缩平台装置的伸展结构示意图； 图中数字表示： 1升降平台装置、11下盖板、12下平台、13支架、14上平台、15光杆、16上盖板、17丝 杆、171丝杆固定块、18导柱、181导柱固定块； 2旋转装置、21旋转电机、211转轴、22主轴、23联轴器、231密封件、24第一壳体、25 第二壳体、26铁板； 3伸缩平台装置、31基板、32导轨连扳、33上导轨、34下导轨、35上手臂支架、36下手 臂支架、37手臂支撑体。