技术摘要：
本发明公开了一种用于红外焦平面器件铟凹型的模板制备方法，该方法通过模版制备来完成红外焦平面器件铟凹型的工艺制备。模版制备方法是在白宝石片上用涂布厚光刻胶，曝光和显影刻出图形，镀上金属铬层和金层，淀积金属锡层，完成金属锡柱阵列的工艺制备。在金属锡柱阵  全部
背景技术：
本发明的目的是提供一种红外焦平面器件铟柱顶端凹点成型的模板制备方法，用 以满足红外焦平面器件混成互连的需求。 本发明的一种用于红外焦平面器件铟凹型的模板制备方法是通过如下技术工艺 实现的：取白宝石片做基板(图2)，涂布厚光刻胶(图3)，并控制好烘箱温度把白宝石片烘 干，经曝光和显影(图4)，离子束溅射镀上铬和金层(图5)，真空蒸发淀积锡层(图6)，干法剥 离多余的铬、金、锡层，丙酮洗去先期涂布的厚光刻胶，锡柱列阵成型(图7)，回溶提拉锡柱 列阵形变尖状(图8)。 附图说明 图1为本发明的工艺流程图。 图2为本发明的白宝石片剖面示意图。 图3为本发明的白宝石片涂布厚光刻胶剖面示意图。 图4为本发明的曝光和显影列阵图形剖面示意图。 图5为本发明的填镀铬金层剖面示意图。 图6为本发明的淀积锡层剖面示意图。 3 CN 111584680 A 说　明　书 2/2 页 图7为本发明的锡柱列阵剖面示意图。 图8为本发明的金属板与锡柱列阵回熔提拉尖状剖面示意图。 图9为本发明的模板剖面示意图。 图10为本发明的显微镜照片。
技术实现要素：
下面结合附图对本发明的具体实施方法作详细说明： 1 .选取大于1毫米厚的白宝石片(图2)，切割成30×30毫米见方，然后正反二面清 洁处理，白宝石片垂直放在清洗花篮中，依次在；浸没在70℃三氯乙烯溶液里超声波20分 钟，浸没在沸腾乙醚溶液15分钟，浸没在70℃丙酮溶液超声波20分钟，浸没在70℃无水乙醇 溶液超声波20分钟，出液面用氮气吹干。 2.选择白宝石片一面涂布14um厚光刻胶(图3)，限位曝光和显影得到所需要的列 阵图形(图4)。 3.用LJX700离子束溅射镀膜机将上述列阵图形进行填镀300～400nm的铬层和1um 的金层(图5)。 4.用300B型高真空镀膜机将上述金层上淀积15～20um的锡层(图6)。 5.用压敏粘结剂剥离多余铬、金、锡层，丙酮去胶得到锡柱列阵(图7)。 6.将上述白宝石片有锡柱列阵面向上，平放在加热板上，温度缓慢升至180℃锡熔 为止，再用金属板面触碰锡的顶端，抓住金属板，金属板不要离开锡的熔体向上提起直至变 尖(图8)，原位不动关闭温度冷却。 7.将上述白宝石片从加热板上取下，面向上平放在烧杯中，用70℃丙酮溶液清洗 二遍各15分钟，用70℃无水乙醇溶液过洗一遍15分钟，取出用氮气吹干，模板制备完成(图 9)。 4 CN 111584680 A 说　明　书　附　图 1/4 页 图1 图2 5 CN 111584680 A 说　明　书　附　图 2/4 页 图3 图4 图5 图6 6 CN 111584680 A 说　明　书　附　图 3/4 页 图7 图8 图9 7 CN 111584680 A 说　明　书　附　图 4/4 页 图10 8