技术摘要：
本发明是一种半导体存储装置，具备：衬底；多个第1半导体部，沿与衬底的表面交叉的第1方向排列；第1栅极电极，沿第1方向延伸，从与第1方向交叉的第2方向与多个第1半导体部对向；第1绝缘部，设置在第1半导体部及第1栅极电极之间；第1布线，在第1方向上与第1栅极电极隔开  全部
背景技术：
半导体存储装置的高集成化正不断发展。
技术实现要素：
一实施方式的半导体存储装置具备：衬底；多个第1半导体部，沿与衬底的表面交 叉的第1方向排列；第1栅极电极，沿第1方向延伸，从与第1方向交叉的第2方向与多个第1半 导体部对向；第1绝缘部，设置在第1半导体部及第1栅极电极之间；第1布线，在第1方向上与 第1栅极电极隔开；第2半导体部，连接于第1栅极电极的第1方向的一端及第1布线；第2栅极 电极，与第2半导体部对向；及第2绝缘部，设置在第2半导体部及第2栅极电极之间。 附图说明 图1是第1实施方式的半导体存储装置的示意性图。 图2是第1实施方式的半导体存储装置的示意性等效电路。 图3是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的示意性立体图。 图4是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的示意性立体图。 图5是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的示意性立体图。 图6是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的示意性YZ剖视图。 图7是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的示意性XZ剖视图。 图8是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的示意性XY剖视图。 图9是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的示意性XY剖视图。 图10是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的示意性XY剖视图。 图11是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图12是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图13是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图14是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 4 CN 111725235 A 说　明　书 2/12 页 图15是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图16是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图17是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图18是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图19是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图20是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图21是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图22是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图23是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图24是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图25是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图26是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图27是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图28是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图29是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图30是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图31是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图32是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图33是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图34是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 5 CN 111725235 A 说　明　书 3/12 页 图。 图35是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图36是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图37是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图38是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图39是表示第1实施方式的半导体存储装置的构成例的制造方法的示意性剖视 图。 图40是表示比较例的半导体存储装置的示意性XZ剖视图。 图41是表示第2实施方式的半导体存储装置的构成例的示意性YZ剖视图。 图42是表示第2实施方式的半导体存储装置的构成例的示意性XZ剖视图。 图43是表示第2实施方式的半导体存储装置的构成例的示意性XZ剖视图。 图44是表示变化例的半导体存储装置的构成例的示意性XZ剖视图。 图45是表示变化例的半导体存储装置的构成例的示意性XY剖视图。 图46是表示变化例的半导体存储装置的构成例的示意性XY剖视图。 图47是表示变化例的半导体存储装置的构成例的示意性XY剖视图。 图48是表示变化例的半导体存储装置的构成例的示意性XY剖视图。