技术摘要：
本发明提出一种用于定位晶圆的辅助装置，包括，基盘，在所述基盘的上表面上，自所述基盘的边缘向基盘的中心依次设置有多个真空槽组，晶圆放置在所述基盘的上表面上，且晶圆可覆盖任意一个或多个所述真空槽组；定位装置，可拆卸连接于所述基盘的上表面的不同位置上，晶  全部
背景技术：
在制备晶圆衬底时，首先利用单晶直拉法等制作圆柱体型的硅锭，然后圆柱体型 的硅锭再通过金刚线切割变成硅片，通过打磨等一系列工艺就制备出了晶圆。单晶直拉法 的旋转提拉工艺决定了硅锭的圆柱型，所以在进行切割后大多也都是圆形。 但是严格意义上晶圆不是圆形的，如图1所示，晶圆有时会带统一的缺口，根据缺 口的形状不同分为两种，分别叫Flat和Notch。如图2所示生产出硅锭后，在直径200mm以下 的硅锭上切一个平角叫做Flat，对于直径大于等于200mm的硅锭，为了避免浪费，只裁剪一 个圆形小孔，叫做Notch。如图3所示，缺口表征着晶体生长的方向，此外在光刻也会参照缺 口刻画纳米结构，一定程度上表征着晶圆上的纳米结构的方向，缺口的存在便于设备对于 晶圆进行定位，例如在进行CPU内核的制作和切割的时候更好确定方向。 在纳米压印技术领域中，晶圆的定位校准一般采用两种，一种是采用光学对中定 位校准器通过光学图像识别传感器的方式对晶圆边缘进行检测，根据软体设定，自动纠正 晶圆位置，可以实现较高精度的中心定位，但是，其造价高昂，在应用中受限。另一种采用边 缘夹持对中定位校准器通过三点或多点同时向中心移动，实现晶圆中心定位，该方式成本 低廉，应用广泛，但是，当晶圆放置位置偏差较大时，可能存在其中一点或几点接触不到，导 致晶圆夹持脱离定位器甚至破片的问题，并且定位夹持面只能定位晶圆的圆边从而确定晶 圆的圆心，不能精确定位晶圆纳米结构的方向，不利于晶圆的准确定位和后续工作的进行。
技术实现要素：
本发明针对上述的技术问题，提出一种用于定位晶圆的辅助装置以及纳米压印 机，本发明定位晶圆时不触碰光刻面，不损坏或者污染光刻面，同时，能够根据晶圆的缺口 精确定位晶圆的晶向和晶圆上纳米结构的方向，不仅设计简洁，而且造价低，实用性强。 为了达到上述目的，本发明采用的技术方案为：一种用于定位晶圆的辅助装置，包 括， 基盘，在所述基盘的上表面上，自所述基盘的边缘向基盘的中心依次设置有多个 真空槽组，晶圆放置在所述基盘的上表面上，晶圆可覆盖任意一个或多个所述真空槽组； 定位装置，可拆卸连接于所述基盘的上表面的不同位置上，晶圆与所述定位装置 相抵，以在所述基盘上定位晶圆； 真空装置，与所述真空槽组连通，以在所述真空槽组内产生负压用以固定晶圆，真 空装置为真空泵。 在本发明的一些实施例中，每组真空槽组均包括两个同心设置的环形真空槽，以 及连接于所述环形真空槽之间的四个连接槽，所述连接槽与所述环形真空槽之间连通，在 3 CN 111613567 A 说　明　书 2/4 页 中心真空槽组以外的每组真空槽组中，其中一个所述连接槽内设置有与所述真空装置连通 的真空孔A。 在本发明的一些实施例中，所述基盘的中心设置有十字形真空槽，所述十字形真 空槽与中心真空槽组中的所述连接槽连通。 在本发明的一些实施例中，所述十字形真空槽的十字中心设置有真空孔B，所述真 空孔B与所述真空装置连通。 在本发明的一些实施例中，自所述基盘的外边缘向所述基盘的中心设置有多组定 位孔，所述定位装置底部设置有定位柱，所述定位柱可插入任意每组定位孔内。 在本发明的一些实施例中，每组定位孔设置有孔数不少于两个，所述定位柱的数 量与所述每组定位孔的孔数相匹配。 在本发明的一些实施例中，所述定位装置为定位板，所述定位板上设置有与所述 晶圆适配的适配部。 在本发明的一些实施例中，所述定位装置顶端设置有把手。 在本发明的一些实施例中，所述定位装置的厚度小于或等于晶圆的厚度。 一种纳米压印机，采用上述任意用于定位晶圆的辅助装置。 与现有技术相比，本发明的优点和积极效果在于：定位装置能够根据晶圆的缺口 进行精准定位，不仅保证了晶圆的晶向方向，也定位了晶圆上纳米结构的方向，定位精度 高，整个定位过程中，只有晶圆侧缘与定位装置碰触，不接触光刻面，不损坏或者污染光刻 面。 附图说明 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本 发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以 根据这些附图获得其他的附图。 图1为具有不同缺口的晶圆结构示意图； 图2为定具有不同缺口的硅锭结构示意图； 图3为具有不同缺口的晶圆结构示意图； 图4为本发明的结构示意图； 图5为本发明中基盘的俯视图； 图6为本发明中定位装置的结构示意图； 图7为具有不同适配部的定位装置的俯视图； 图8为具有不同适配部的定位装置的仰视图； 图9为基盘与具有不同适配部的定位装置的连接关系图； 图10为基盘与具有不同适配部的定位装置及晶圆的连接关系图。 以上各图中：1、基盘；11、真空槽组；110、中心真空槽组；111、环形真空槽；112、连 接槽；113、真空孔A；114、十字形真空槽；115、真空孔B；12、定位孔；2、定位装置；21、定位柱； 22、把手；23、适配部；231、凹槽；232、凹槽；2321、凸起；233、弧形槽；3、真空装置；4、晶圆； 41、缺口；411、平缺口；412、弧形缺口。 4 CN 111613567 A 说　明　书 3/4 页