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半导体装置、半导体装置的制造方法及电力转换装置


技术摘要:
在绝缘基板(1)的电极(3)之上环状地形成第1定位树脂(4)。在第1定位树脂(4)的环的内侧,在电极(3)之上配置厚度比第1定位树脂(4)薄的第1板状焊料(5)。在第1板状焊料(5)之上配置半导体芯片(6)。将第1板状焊料(5)熔融而将半导体芯片(6)的下表面接合于电极(3)。
背景技术:
与工业设备、电力铁道、汽车的发展相伴,它们所使用的半导体装置的使用温度也 随之提高。近年来,积极地进行在高温下也进行工作的半导体装置的开发,半导体装置的小 型化、高耐压化、高电流密度化不断发展。特别地,SiC或GaN等宽带隙半导体比Si带隙大,期 待使用了宽带隙半导体的半导体装置的高耐压化、小型化、高电流密度化、高温工作。 就这样的半导体装置而言,使用焊料将半导体芯片接合于绝缘基板的电极。此时, 通过在半导体芯片的安装位置的周围设置阻焊剂,从而能够对熔融的焊料的润湿扩展进行 抑制(例如,参照专利文献1)。 专利文献1:日本特开2001-298033号公报
技术实现要素:
但是,就通常的阻焊剂而言,不能够进行熔融前的板状焊料的定位。因此,当前主 要使用碳制的夹具来进行半导体芯片和板状焊料的定位。但是,在生产半导体芯片的形状 及配置不同的其它品种时,需要每次制作夹具,存在生产成本变高,生产率低这样的问题。 本发明就是为了解决上述那样的课题而提出的,其目的在于,得到能够降低生产 成本,使生产率提高的半导体装置、半导体装置的制造方法及电力转换装置。 本发明涉及的半导体装置的制造方法的特征在于,具有如下工序:在绝缘基板的 电极之上环状地形成第1定位树脂;在所述第1定位树脂的环的内侧,在所述电极之上配置 厚度比所述第1定位树脂薄的第1板状焊料;在所述第1板状焊料之上配置半导体芯片;以及 将所述第1板状焊料熔融而将所述半导体芯片的下表面接合于所述电极。 发明的效果 在本发明中,在第1定位树脂的环的内侧,在电极之上配置厚度比第1定位树脂薄 的第1板状焊料。由此,能够以不使用专用的夹具的方式,通过第1定位树脂进行第1板状焊 料的定位。其结果,能够降低生产成本,使生产率提高。 附图说明 图1是表示实施方式1涉及的半导体装置的剖视图。 图2是表示实施方式1涉及的第1及第2定位树脂的俯视图。 图3是表示实施方式1涉及的半导体装置的制造方法的剖视图。 图4是表示实施方式1涉及的半导体装置的制造方法的剖视图。 图5是表示实施方式2涉及的第1定位树脂的俯视图。 图6是表示电力转换系统的结构的框图,该电力转换系统应用了实施方式3涉及的 电力转换装置。 3 CN 111602232 A 说 明 书 2/4 页
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