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全光谱反射膜


技术摘要:
本发明涉及一种全光谱反射膜,包括基膜和依次层叠设置于所述基膜上的第一反射层、第二反射层和第三反射层,所述第一反射层的厚度小于等于15nm,所述第一反射层的材料为银或银合金,所述第二反射层的材料为铝,所述第三反射层的材料包括钛、钛合金中的至少一种。本发明  全部
背景技术:
基于铝层的反射膜(铝膜)和基于银层的反射膜(银膜)是最常用的两种基于金属 反射层的反射膜。但是,铝膜在860nm处有一个明显的吸收峰,降低了其在可见和近红外波 段的反射效率。而银膜在300nm-400nm的紫外波段由于表面等离子激元的作用使反射率急 剧降低,而且,当银层的厚度在170nm以下时,银层会出现以波长320nm为峰值的“透过窗”, 即,从光源发射出的紫外光会透过银层,到达下层或基体表面,并且,随着银层厚度的减小, “透过窗”的波长范围和透射率都会随之增大。 为克服上述技术缺陷,传统技术为将银和铝进行复合,得到同时包括银层和铝层 的反射膜(银/铝反射膜),以弥补各自单独存在的技术缺陷和效果缺陷,但是,其只能实现 可见和近红外波段的高反射率,无法实现紫外波段的高反射率,而且,随着时间延长,银/铝 反射膜会逐渐被紫外光侵蚀而损伤。
技术实现要素:
基于此,有必要针对上述问题,提供一种反射率高、使用寿命久的全光谱反射膜。 一种全光谱反射膜,包括基膜和依次层叠设置于所述基膜上的第一反射层、第二 反射层和第三反射层,所述第一反射层的厚度小于等于15nm,所述第一反射层的材料为银 或银合金,所述第二反射层的材料为铝,所述第三反射层的材料包括钛、钛合金中的至少一 种。 在其中一个实施例中,所述第二反射层的厚度大于所述第一反射层的厚度,且所 述第一反射层与所述第二反射层的厚度比为1:2-1:8; 及/或,所述第三反射层的厚度大于所述第一反射层的厚度,且所述第一反射层与所述 第三反射层的厚度比为1:1.6-1:10。 在其中一个实施例中,所述第一反射层的厚度为5nm-15nm; 及/或,所述第二反射层的厚度为30nm-40nm; 及/或,所述第三反射层的厚度为25nm-50nm。 在其中一个实施例中,所述银合金包括银/金合金、银/钯/铜合金、银/钕/金合金、 银/铟/锡合金、银/钕/铜合金、银/铋/金合金、银/金/锡合金、银/锡合金、银/钛/锗合金、 银/锌/镍合金中的至少一种。 在其中一个实施例中,所述第一反射层和所述第二反射层之间还设置有第一阻隔 层,所述第一阻隔层的厚度为4nm-20nm。 在其中一个实施例中,所述第二反射层和所述第三反射层之间还设置有第二阻隔 层,所述第二阻隔层的厚度为4nm-20nm。 在其中一个实施例中,所述第一阻隔层的材料包括金属氟化物、金属氮化物、半导 3 CN 111736246 A 说 明 书 2/9 页 体掺杂化合物中的至少一种; 及/或,所述第二阻隔层的材料包括金属氟化物、金属氮化物、半导体掺杂化合物中的 至少一种。 在其中一个实施例中,所述基膜和所述第一反射层之间还设置有介质层,所述介 质层的厚度为0.1nm-2.5nm。 在其中一个实施例中,所述介质层的材料包括金属、金属氮化物、半导体掺杂化合 物中的至少一种。 在其中一个实施例中,在所述第三反射层背离所述第二反射层的表面上还设置有 保护层,所述保护层的厚度为0.1nm-25nm,所述保护层的材料包括金属、金属氮化物、半导 体掺杂化合物中的至少一种。 在其中一个实施例中,所述基膜的厚度为20μm-200μm,所述基膜的透光率大于等 于80%。 本发明的全光谱反射膜包括三层反射层,第一反射层为银层或银合金层,通过将 第一反射层的厚度降低至15nm以下,使第一反射层在起到反射作用的基础上,降低对紫外 波段的吸收,使得紫外光能够穿透第一反射层到达第二反射层,第二反射层为铝层,利用第 二反射层对紫外波段的高反射率实现提高全光谱反射膜紫外反射率的效果,而少量可见光 及近红外光在穿透第二反射层后到达第三反射层,利用第三反射层的高反射率的作用进一 步增强全光谱反射膜的反射率。 从而,通过三层反射层的协调作用,使得全光谱反射膜在紫外波段的反射率提升 至85%以上,在可见和近红外波段的反射率均提升至90%以上,实现了在紫外、可见和近红外 波段均具有高反射率的效果。同时,由于紫外光被大幅反射,可以减少紫外光对全光谱反射 膜的损伤,延长全光谱反射膜的使用寿命。 附图说明 图1为本发明第一实施方式的全光谱反射膜的结构示意图; 图2为本发明第二实施方式的全光谱反射膜的结构示意图; 图3为本发明第三实施方式的全光谱反射膜的结构示意图; 图4为光谱反射图;其中,a为纯Ag光谱反射曲线,b为Al光谱反射曲线,c为实施例1的全 光谱反射膜的光谱反射曲线。 图中:10、基膜;11、第一反射层;12、第二反射层;13、第三反射层;14、第一阻隔层; 15、第二阻隔层;16、介质层;17、保护层。
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