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一种导电膜层、导电膜层制备方法及显示装置


技术摘要:
本申请实施例提供一种导电膜层、导电膜层制备方法及显示装置,导电膜层制备方法首先提供一基板,所述基板具有相对设置的第一面和第二面,在所述第一面形成第一金属层和第二金属层,所述第一金属层位于所述第一面,所述第二金属层位于所述第二金属层远离所述第一金属层  全部
背景技术:
面板行业中,SD是信号传输的通道,一般采用TI/Al/Ti三层架构,其中下层Ti与 Poly-Si相接因为Ti的势垒比较低可以形成很好的欧姆接触。中间Al为SD主体,Al的导电性 比较好,信号可以快速传输,上层Ti一方面可以起到保护主体Al的作用减少氧化,另一方面 Ti可以阻止Al在加热时出现凸起导致搭接异常的问题。随着手机性能的不断提升,需求SD 越来越小的阻抗,增加SD层Al的厚度是目前的主要方式。SD是三层金属在同一道制程中依 次成膜形成,由于Ti/蚀刻速度慢于Al,因此SD会形成侧向蚀刻,由于光的折射在点灯时出 现黑阶条纹。
技术实现要素:
本申请实施例提供一种导电膜层、导电膜层制备方法及显示装置,能够避免出现 黑阶条纹。 本申请实施例提供一种导电膜层的制备方法,包括: 提供一基板,所述基板具有相对设置的第一面和第二面; 在所述第一面形成第一金属层和第二金属层,所述第一金属层位于所述第一面, 所述第二金属层位于所述第二金属层远离所述第一金属层的一面; 在所述第二金属层远离所述基板的一面形成第三金属层,所述第三金属覆盖所述 第二金属层边缘并与所述第一金属层接触。 在一些实施例中,所述在所述第一面形成第一金属层和第二金属层之后,包括: 对所述第一金属层和第二金属层进行蚀刻。 在一些实施例中,所述在所述第二金属层远离所述基板的一面形成第三金属层之 后,包括: 对所述第三金属层进行蚀刻。 在一些实施例中,所述对所述第三金属层进行蚀刻之后,包括: 在所述第三金属层远离所述基板的一侧设置遮光层,所述遮光层遮挡住所述第二 金属层两侧的反射光。 在一些实施例中,所述第一金属层和第三金属层采用的材料为钛,所述第二金属 层采用的材料为铝。 在一些实施例中,所述第二金属层的厚度为4500A至5500A。 本申请实施例还提供一种导电膜层,包括: 第一金属层,具有相对设置的第一面和第二面; 第二金属层,设置在所述第一面; 3 CN 111613629 A 说 明 书 2/4 页 第三金属层,设置在所述第二金属层远离所述第一金属层的一面,且所述第三金 属覆盖所述第二金属层边缘并与所述第一金属层接触。 在一些实施例中,所述第一金属层和第三金属层采用的材料为钛,所述第二金属 层采用的材料为铝。 在一些实施例中,所述第二金属层的厚度为4500A至5500A。 本申请实施例提供一种显示装置,包括以上所述的导电膜层。 本申请实施例所提供的导电膜层、导电膜层制备方法及显示装置,导电膜层制备 方法首先提供一基板,所述基板具有相对设置的第一面和第二面,在所述第一面形成第一 金属层和第二金属层,所述第一金属层位于所述第一面,所述第二金属层位于所述第二金 属层远离所述第一金属层的一面,在所述第二金属层远离所述基板的一面形成第三金属 层,所述第三金属覆盖所述第二金属层边缘并与所述第一金属层接触。本申请通过第一金 属层可以将中间层的第二金属层完全包裹,避免有光的折射,从而根本上解决第二金属层 的侧向蚀刻引起的黑阶条纹。 附图说明 为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使 用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于 本领域技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附 图。 图1为本申请实施例提供的导电膜层制备方法流程示意图。 图2为本申请实施例提供的导电膜层制备方法场景示意图。 图3为本申请实施例提供的导电膜层的结构示意图。 图4为本申请实施例提供的显示装置的结构示意图。
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