技术摘要：
本发明涉及工业设备技术领域，且公开了一种用于黑硅制备的反应装置，包括反应桶，所述反应桶桶内的底壁上固定连接有限位块。该用于黑硅制备的反应装置，通过进气管将离子充入反应桶中，通过直流脉冲电源使得位于反应台上方的待加工的硅片呈现负极，通过将复合分子泵通  全部
背景技术：
黑硅是最新研究发现的一种能大幅提高光电转换效率的新型电子材料，这种黑硅 材料能够捕捉几乎全部日光，它就像一块吸收光的海绵，可见光和红外线都能吸收，这种材 料能够提高光的使用效率，产生的电流是传统硅材料的几百倍，此外黑硅还可以减少光传 感器的硅使用量，使产品更加便宜、小巧和轻便。 市面上黑硅的最佳制取方法是等离子体浸没离子注入法，使用这种方法制备出来 的黑硅有着很低的反射率，适用于所有单晶硅，但是市面上这种制备方法所需要的设备却 有着制备效率低下和资源浪费的缺点，故此提出一种用于黑硅制备的反应装置来解决上述 所提出的问题。
技术实现要素：
(一)解决的技术问题 针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于黑硅制备的反应装置，具备制备效 率高等优点，解决了制备效率低下的问题。 (二)技术方案 为实现上述制备效率高的目的，本发明提供如下技术方案：一种用于黑硅制备的 反应装置，包括反应桶，所述反应桶桶内的底壁上固定连接有限位块，反应桶桶内底壁上活 动连接有与限位块相接触的分隔筒，分隔筒的左右两侧均开设有数量为五个的通气孔，分 隔筒筒内侧壁开设有第一螺旋槽，所述反应桶桶内底壁上固定连接有位于分隔筒内部的支 撑杆，支撑杆的顶部固定连接有反应台，反应台的底部固定连接有穿过支撑杆且延伸至反 应桶前侧的连接线，连接线的前侧固定连接有直流脉冲电源，反应桶的右侧固定连接有放 置板，放置板的顶部固定连接有复合分子泵，复合分子泵的输入口固定连接有延伸至反应 桶内部的输入管，复合分子泵输出口处固定连接有三通阀，三通阀的前侧固定连接有连接 管，连接管的底部固定连接有与反应桶相接触的收集箱，所述三通阀的右侧固定连接有延 伸至反应桶内部的循环管，反应桶的左侧固定连接有延伸至反应桶内部的进气管，反应桶 的左侧固定连接有位于进气管下方的气压表，反应桶桶内顶壁固定连接有延伸至反应桶外 部的连接筒，连接筒的外部套接有与反应桶相接触的顶盖，顶盖的底部固定连接有延伸至 连接筒内部的挡块，挡块的外部套接有与连接筒相接触的第一密封圈，连接筒的外部套接 有与顶盖和反应桶相接触的第二密封圈，反应桶桶内侧壁开设有第二螺纹槽。 优选的，所述限位块为中空圆环块，限位块的内径等于分隔筒的外径，限位块的外 径小于反应桶的内径。 优选的，所述通气孔共有十个，十个所述通气孔分成两组，一组五个所述通气孔呈 等距分布，左侧所述通气孔与右侧所述通气孔呈错位分布。 3 CN 111725352 A 说　明　书 2/3 页 优选的，所述收集箱为矩形箱，收集箱位于放置板的下方。 优选的，所述挡块为圆柱块，挡块的直径小于连接筒的内径。 优选的，所述第一螺旋槽和第二螺旋槽的方向相同，第一密封圈和第二密封圈均 为真空密封圈。 (三)有益效果 与现有技术相比，本发明提供了一种用于黑硅制备的反应装置，具备以下有益效 果： 该用于黑硅制备的反应装置，通过进气管将离子充入反应桶中，通过直流脉冲电 源使得位于反应台上方的待加工的硅片呈现负极，通过将复合分子泵通电，使得反应桶内 部的离子气流通过输入管、三通阀、循环管再次进入反应桶内部，从而使得离子气流流动起 来增加了气流与硅片的接触面积，且通过第一螺旋槽和第二螺旋槽使得进入反应桶的离子 气流呈现螺旋的方式流动，增加了气体流动性的同时增加了与硅片的接触，增加了黑硅的 生产效率，通过分隔筒使得离子在与硅片反应后残留下来的残渣便于清理，待硅片加工完 成后，转动三通阀使得离子气流进入收集箱中为下次加工做准备，降低了资源的浪费。 附图说明 图1为本发明结构示意图； 图2为本发明结构左视剖视图。 图中：1反应桶、2限位块、3分隔筒、4通气孔、5第一螺旋槽、6支撑杆、7反应台、8连 接线、9直流脉冲电源、10第二螺旋槽、11输入管、12放置板、13复合分子泵、14三通阀、15收 集箱、16连接管、17循环管、18进气管、19气压表、20连接筒、21顶盖、22挡块、23第一密封圈、 24第二密封圈。