技术摘要：
本发明公开了一种吸盘横移机构,包括龙门架、横移机构和硅片分离移动机构，所述横移机构和硅片分离移动机构设置于龙门架上，所述硅片分离移动机构包括升降装置和硅片吸取分离装置，所述硅片吸取分离装置包括硅片吸取装置、硅片分片装置和移动组件，所述硅片吸取装置用于  全部
背景技术：
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需 要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方 式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加 工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等。目前行 业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体 或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实 现。 在加工的过程中，需要在硅片吸取分离过程中进行横移，传统的横移方式工作效 率低，精度低，定位不准确，同时需要将硅片成对抓取，并能对成对的硅片进行分片，传统的 抓取分片工艺，人力成本高，工作效率低，且容易造成硅片破损，此设备有效地解决了这种 问题。
技术实现要素：
本发明为了克服现有技术的不足，提供一种吸盘移动机构。 为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：一种吸盘移动机构,其特征在于： 包括龙门架、横移机构和硅片分离移动机构，所述横移机构和硅片分离移动机构设置于龙 门架上，所述硅片分离移动机构包括升降装置和硅片吸取分离装置，所述硅片吸取分离装 置包括硅片吸取装置、硅片分片装置和移动组件，所述硅片吸取装置用于吸取硅片，所述硅 片分片装置用于分离硅片，所述移动组件用于移动硅片吸取装置，所述硅片吸取分离装置 用于对硅片的吸取和分离，所述升降装置用于控制硅片吸取分离装置竖直移动，所述横移 机构用于控制硅片吸取分离装置水平移动。 进一步的；所述龙门架包括底座，所述底座设置为对称的两组，所述底座上固设有 龙门支柱，所述龙门支柱垂直于水平面设置，所述龙门支柱间固设有连接有龙门连柱，所述 龙门支柱、底座和龙门连柱形成整体结构，所述龙门连柱上固设有龙门安装板，所述龙门安 装板连接横移机构。 进一步的；所述横移机构包括移动装置、定位装置和调整装置，所述移动装置设置 于龙门安装板上，所述定位装置设置于移动装置上，所述定位装置用于定位和控制移动装 置的位置，所述调整装置用于调整移动装置。 进一步的；所述硅片分离移动机构包括升降装置和硅片吸取分离装置，所述升降 装置用于控制硅片吸取分离装置竖直移动，所述硅片吸取分离装置固设于所述升降装置 上，所述硅片吸取分离装置包括硅片吸取装置、硅片分片装置和移动组件，所述硅片吸取装 置用于吸取硅片，所述硅片分片装置用于分离硅片。进一步的；所述升降装置包括滚珠丝杆 4 CN 111613560 A 说　明　书 2/9 页 组件、定位组件、限位机构和模组底板，所述滚珠丝杆组件驱动装置移动，所述定位组件用 于定位和控制装置的位置，所述限位机构限制设备的移动范围。 进一步的；所述硅片吸取装置包括进气组件、固定组件和吸取组件，所述固定组件 包括吸盘端板、吸盘端块以及连接吸盘端板和吸盘端块的连接杆，所述连接杆将吸取组件 与固定组件连接，所述吸取组件包括吸盘，所述吸盘上固设有吸取槽，所述进气组件为吸取 组件供气，所述吸取组件通过吸取槽吸取硅片。进一步的；：所述硅片分片装置包括吹气组 件和固定吹气组件的支架组件，所述吹气组件包括有连通管，所述连通管用于对吹气组件 供气，所述支架组件支撑吹气组件，所述吹气组件用于硅片分片。 进一步的；所述移动组件包括导轨安装板，所述导轨安装板下侧固设有滑轨，所述 滑轨上滑动设置有移动块，所述移动块下侧固设有顶板，所述顶板下侧与硅片吸取装置固 设连接。所述导轨安装板上设置有驱动电机，所述驱动电机输出轴固设连接有转动丝杆，所 述转动丝杆上设置有与顶板固设连接的定座，所述驱动电机驱动硅片吸取装置沿滑轨做往 复运动。 进一步的；所述进气组件包括吸盘安装板，所述吸盘安装板内设置有开口朝下的 通气腔，所述通气腔下侧与固定组件固设连接，所述通气腔一侧连通设置有连管，所述连管 与外接真空设备连通，所述外接真空设备为进气组件供能； 所述吸取组件由多组吸盘紧密连接而成，所述吸盘包括固定板和吸取板，所述固 定板上固设有连接孔，所述连接孔大小和位置与连接杆腔相配，所述连接杆通过贯穿连接 孔将吸取组件固设在固定组件上，所述每组吸盘上的固定板紧密贴合，所述两组吸取板间 形成有插槽，设备将硅片吸取进入插槽内。 进一步的；所述支架组件包括风刀连接板，所述风刀连接板固设有风刀连接块，所 述风刀连接块上固设有导向轴，所述导向轴两侧固设有连接块，所述连接块与吹气组件固 设连接。 所述吹气组件包括与连接块固设连接的风刀板，所述风刀板内固设有气流腔，所 述气流腔上固设有连孔，所述连孔连通设置有二通管，所述连孔连通设置有位于气流腔内 的对腔，所述风刀板内固设有与气流腔连通设置的喷腔，所述喷腔设置为内凹型结构，所述 对腔、气流腔和喷腔组成气路通道，所述风刀板下侧固设有风刀底板。 综上所述，本发明通过采用真空设备对硅片进行吸取，降低了人力成本，提高了工 作效率，并在吸盘侧边设置斜槽，对硅片的进入和离开插槽进行导向，避免发生硅片破损， 提高了工作质量。 本发明采用风刀底板和风刀板紧密连接的结构，通过设置扁平的喷腔，增大了气 体的压强，从而增大了喷出气体的强度，提高了硅片分片效率。 本发明的驱动采用滚珠丝杆和齿条齿轮，提高了设备的运动精度。 本发明设置的两组移动机构共用龙门架、导轨和齿条，提高了资源的利用率，同时 两组机构同时运动提高了工作效率，并采用定位装置实现对设备的精准定位。 附图说明 图1为本发明的装置示意图一。 图2为本发明的装置示意图二。 5 CN 111613560 A 说　明　书 3/9 页 图3为本发明的装置示正视图。 图4为本发明中横移机构示意图。 图5为图4中A的放大示意图。 图6为本发明中硅片分离移动机构示意图。 图7为本发明中升降装置示意图。 图8为本发明中硅片吸取分离装置示意图一。 图9为本发明中硅片吸取分离装置示意图二。 图10为本发明中移动组件示意图。 图11为本发明中硅片吸取装置示意图。 图12为图11中B的放大示意图。 图13为本发明中吸盘的示意图一。 图14为本发明中吸盘的示意图二。 图15为本发明中通气槽的示意图。 图16为本发明中硅片分片装置示意图。 图17为本发明中风刀板结构示意图。 图中标识：龙门架100、龙门支柱101、肋块102、底座103、龙门安装板104、龙门连柱 105、滑块腔110、滑块111、限位块112、齿条腔113、齿条114、垫圈115、原点挡片116、接油块 117、托板118、垫片119、拖链连接板120、连接板肋板121、滑块安装板122、横移拖链123、拖 链托板124、感应片125、感应传感器126、调节杆127、下调节块128、顶块129、顶块腔130、电 机安装板131、齿轮132、开腔133、传动电机134、。 吸盘转接板200、加强筋201、安装板203、转动电机204、端板205、光电挡板206、光 电传感器207、盖板209、拖链板210、侧盖板211、导轨垫块212、导轨213、缓冲圈214、升降滑 块215、固定块216、模组底板218、支撑座219、丝杆220、滑移板221、升降拖链250、 真空过滤器300、导轨安装板301、电机安装座302、驱动电机303、限位片304、风刀 底板307、风刀板308、连接块309、二通管310、风刀连接板311、上孔312、速度阀313、导向轴 315、防油板316、下孔317、风刀连接块318、连通管319、移动块320、滑轨321、顶板322、定位 销323、端块330、U型传感器331、上板332、挡板333、平板334、下板335、丝杠撑座336、定座 337、转动丝杆339、拖链连板340、真空设备341、 连管400、吸盘安装板401、连接杆402、吸盘403、吸盘端板404、连接杆腔405、凹台 406、凸台407、侧边410、上边411、对边412、对侧边413、开口腔415、吸盘端块416、 开孔500、气流腔501、连孔502、对腔503、封闭凸块504、上通管505、平通管506、边 一507、边二508、边三509、下边一510、下边二511、下边三512、下边四513、边四514、喷腔515 连接孔600、固定板601、吸取板602、吸取槽603、通孔604、斜槽605、吸盘封板606、 通气槽607、封腔608、斜台610