技术摘要：
本发明提供了一种光电探测器，包括硅衬底、石墨烯、第一电极和第二电极，石墨烯设置在硅衬底的表面，第一电极和第二电极被蒸镀在石墨烯的表面，第一电极和第二电极之间形成沟道结构。本发明还公开了一种光电探测器的制备方法以及一种光通信系统，本发明提高了光电探测  全部
背景技术：
光电探测器是将光信号转换成电信号的装置，是光通信系统的重要组成部分，光 电探测器用途广泛，涵盖军事和国民经济的各个领域，半导体光电探测器在光纤通信、红外 遥感、测量和诊断仪器等领域广泛运用。常规的半导体光电探测器存在响应度低、响应时间 慢以及灵敏度低等问题。例如，石墨烯具有优异的光电性能的同时，其缺陷也非常明显，其 零带隙特性使得器件的暗电流非常大，同时石墨烯的光吸收很低，载流子寿命短，使得石墨 烯光电探测器的响应率很低，较大的暗电流和较低的响应率限制了其实际应用，因此兼顾 光电探测器的响应度、响应率和降低器件的暗电流成为了主要的研究方向。 硅是一种常见的窄带隙半导体，其带隙约为1.12电子伏特，适合用于制备光电探 测器，在提高器件响应率和响应速度的研究当中，材料为石墨烯和硅的光电探测器的研究 最为广泛且取得了较好的进展，但是光响应速度、光响应率和器件暗电流这三者之间的兼 顾依然有所欠缺，限制了光电探测器的实际应用，降低光通信系统中信息传递的稳定性和 准确度，导致不稳定的信息传输过程。
技术实现要素：
为了解决上述问题，本发明的第一目的在于，提供了一种光电探测器，能够提高光 电探测器中的光响应率和光响应度，使得光电探测器具有良好的性能，使其能够广泛应用。 为实现上述目的，本发明按照以下技术方案予以实现： 一种光电探测器，包括硅衬底、石墨烯、第一电极和第二电极；所述石墨烯设置在 所述硅衬底的表面，所述第一电极和所述第二电极被蒸镀在所述石墨烯的表面，所述第一 电极和所述第二电极之间形成沟道结构。 进一步的，所述硅衬底为N型硅片或P型硅片。 进一步的，所述石墨烯为单层或多层。 进一步的，所述石墨烯的表面设置有聚甲基丙烯酸甲酯。 进一步的，所述第一电极的材质为金或银；所述第二电极的材质为金或银。 进一步的，所述第一电极和所述第二电极的形状非对称，和/或，所述第一电极和 所述第二电极的材料不同。 进一步的，所述第一电极的厚度和所述第二电极的厚度均在100-300nm之间。 进一步的，所述蒸镀的方法包括离子溅射或磁控溅射。 本发明的第二目的在于，提供一种光电探测器的制备方法，能够提高光电探测器 中的光响应率和光响应度，降低暗电流，具有良好的实际应用。 为实现上述目的，本发明按照以下技术方案予以实现： 3 CN 111599889 A 说　明　书 2/6 页 一种光电探测器的制备方法，包括以下步骤： S1、石墨烯放置在硅衬底的表面； S2、将第一电极和第二电极蒸镀在所述石墨烯的表面，所述第一电极和所述第二 电极形成沟道结构。 进一步的，所述硅衬底为N型硅片或P型硅片。 进一步的，所述石墨烯为单层或多层。 进一步的，所述石墨烯的表面设置有聚甲基丙烯酸甲酯。 进一步的，所述第一电极的材质为金或银；所述第二电极的材质为金或银。 进一步的，所述第一电极和所述第二电极的形状非对称，和/或，所述第一电极和 所述第二电极的材料不同。 进一步的，所述第一电极的厚度和所述第二电极的厚度均在100-300nm之间。 进一步的，所述蒸镀的方法包括离子溅射或磁控溅射。 本发明的第三目的在于，提供一种光通信系统，能够提高光通信系统中信息传递 的稳定性和准确度，提供一个稳定的信息传输过程。 为实现上述目的，本发明按照以下技术方案予以实现： 一种光通信系统，包括信号发送端和信号接收端； 所述信号接收端包括上述描述的光电探测器，或，使用上述制备方法中制备的光 电探测器，所述光电探测器将所述信号发送端发出的光信号转换成电信号。 与现有技术相比，本发明的有益技术效果如下： 本发明提供了一种光电探测器，包括硅衬底、石墨烯、第一电极和第二电极，所述 石墨烯设置在所述硅衬底的表面，所述第一电极和所述第二电极被蒸镀在所述石墨烯的表 面，所述第一电极和所述第二电极之间形成沟道结构，提高了光电探测器中的光响应率和 光响应度，使得光电探测器具有良好的性能，在无外加偏压的情况下，光照后即可得到较高 的光电流或光电压。 本发明提供了一种光电探测器的制备方法，石墨烯放置在硅衬底的表面，第一电 极和第二电极被蒸镀在所述石墨烯的表面，所述第一电极和所述第二电极形成沟道结构， 提高了光电探测器中的光响应率和光响应度，降低了暗电流，同时制备工艺简单，制备周期 短且重复性高，具有良好的实际应用。 本发明提供了一种光通信系统，包括信号发送端和信号接收端；所述信号接收端 包括上述描述的光电探测器，或，使用上述制备方法中制备的光电探测器，所述光电探测器 将所述信号发送端发出的光信号转换成电信号，能够提高光通信系统中信息传递的稳定性 和准确度，提供一个稳定的信息传输过程，稳定传输音频和文本信息。 附图说明 图1是本发明实施例1中所述的光电探测器的结构示意图。 图2是本发明实施例1中所述的光电探测器的光电流测试。 图3是本发明实施例1中所述的光电探测器在1.5MHz的脉冲光下的光响应测试。 图4是本发明实施例1中所述的光电探测器的上升时间测试和下降时间测试。 图5是本发明实施例2中所述的光电探测器的制备方法的步骤示意图。 4 CN 111599889 A 说　明　书 3/6 页 图6是本发明实施例3中所述的光通信系统。 图7是本发明实施例3中所述的光通信系统的文本信号传输过程。