技术摘要：
本发明提供了砷化镓抛光液自动循环过滤方法，其使得抛光药液通过自循环过滤，从而解决抛光过程中抛光液中的颗粒划伤晶片问题。抛光药液在抛光设备使用前，在供药管道进入设备后安装抛光药液自循环装置，将管道中结晶颗粒机静态滤芯反向端的结晶进行再次过滤，将静态的  全部
背景技术：
目前，市场上销售及使用的抛光机供药液系统均由配药供液，由于管道过长药液 在流动循环时容易带颗粒在药液中，因此大部分抛光管道进设备会装滤芯进行过滤，由于 设备保养等原因出现停机时，药液处于静止状态，砷化镓抛光药液容易与空气中的氧发生 化学反应，产生白色结晶，该结晶不仅仅存在滤芯的前端也会出现在反向位置，在进行抛光 时颗粒随抛光液流入抛光设备导致晶片出现划伤现象。
技术实现要素：
针对上述问题，本发明提供了砷化镓抛光液自动循环过滤方法，其使得抛光药液 通过自循环过滤，从而解决抛光过程中抛光液中的颗粒划伤晶片问题。 砷化镓抛光液自动循环过滤方法，其特征在于：抛光药液在抛光设备使用前，在供 药管道进入设备后安装抛光药液自循环装置，将管道中结晶颗粒机静态滤芯反向端的结晶 进行再次过滤，将静态的药液改变为动态实时过滤，避免析出颗粒结晶使得药液中颗粒增 加。 其进一步特征在于：抛光机的供药接口处断开，安装抛光药液自循环过滤装置，将 过滤循环系统的进液管连接在外部的进药管处，将出液管口连接在设备进液的管口上，在 进液管安装相应的过滤滤芯，在循环滤罐安装更细一级的过滤滤芯，开启管道药液液位计 监测药液桶内的液面高度，并将传感器与隔膜泵进行连接控制，通过隔膜泵将循环桶中药 液抽出并在滤芯出过滤输入循环药液溢流桶中，通过溢流的方式保持药液的循环流动，需 要进行抛光液供给时、开启出液管上的蠕动泵将干净的药液进行供给给抛光机的进药管。 砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：其包括药液桶，所述药液桶的上端 盖装有顶盖，所述顶盖上预设有管路插孔、溢流桶安装接口，所述溢流桶安装接口下凸部分 固装有循环药液溢流桶，所述循环药液溢流桶上设置有旁通溢流孔连通所述药液桶的内 腔，所述药液桶的内腔内盛放有砷化镓抛光液，进液管上安装药管过滤罐芯后通过管路贯 穿对应的管路插孔后连通至所述药液桶的内腔，其还包括有循环管，所述循环管的一端内 插于药液桶的内腔的底部区域，所述循环管的一部分外露于所述药液桶后、其另一端置于 所述循环药液溢流桶的内腔，出液管的进液部分位于所述循环药液溢流桶的内腔，所述出 液管的出液部分安装蠕动泵后连接至抛光机的进药管。 其进一步特征在于： 所述药液桶内还排布有若干冷凝管，确保药液桶内的砷化镓抛光液的温度达到抛 光要求； 所述循环管的外露于所述药液桶的部分设置沿着流向分别设置有隔膜泵、循环滤 3 CN 111544946 A 说　明　书 2/4 页 芯，所述循环滤芯的过滤精度优于所述药管过滤罐芯的过滤精度，其进一步将更细的结晶 过滤； 所述药液桶内还设置有液位计，所述液位计沿着药液桶的高度方向布置； 所述液位计的反馈端通过连接线外接至隔膜泵，液位计监测到液面达到预设高度 后、开启隔膜泵； 所述循环管的一端贯穿对应的管路插孔后内插于药液桶的内腔的底部区域； 所述循环管的一端、进液管对应的管路插孔上盖装有端盖连接头，端盖连接头确 保循环管、进液管对应于顶盖位置的封装连接，确保不会漏气漏液； 所述循环管的另一端、出液管分别通过溢流桶安装接口安装于所述循环药液溢流 桶的旁通溢流孔的下方位置区域，所述溢流桶安装接口的上凸表面盖装有封装盖，所述封 装该确保循环管、出液管对应于溢流桶安装接口的位置的封装连接，确保不会漏气漏液。 采用上述技术方案后，抛光药液在抛光设备使用前，在供药管道进入设备后安装 抛光药液自循环装置，将管道中结晶颗粒机静态滤芯反向端的结晶进行再次过滤，将静态 的药液改变为动态实时过滤，避免析出颗粒结晶使得药液中颗粒增加，其在抛光机的供药 接口处断开，安装抛光药液自循环过滤装置，将过滤循环系统的进液管连接在外部的进药 管处，将出液管口连接在设备进液的管口上，在进液管安装相应的过滤滤芯，在循环滤罐安 装更细一级的过滤滤芯，开启管道药液液位计监测药液桶内的液面高度，并将传感器与隔 膜泵进行连接控制，通过隔膜泵将循环桶中药液抽出并在滤芯出过滤输入循环药液溢流桶 中，通过溢流的方式保持药液的循环流动，需要进行抛光液供给时、开启出液管上的蠕动泵 将干净的药液进行供给给抛光机的进药管；其使得抛光药液通过自循环过滤，从而解决抛 光过程中抛光液中的颗粒划伤晶片问题。 附图说明 图1为本发明的装置的结构示意简图； 图2为本发明的装置的工作原理示意简图； 图中序号所对应的名称如下： 药液桶1、顶盖2、溢流桶安装接口3、循环药液溢流桶4、旁通溢流孔5、砷化镓抛光 液6、进液管7、药管过滤罐芯8、循环管9、出液管10、蠕动泵11、冷凝管12、隔膜泵13、循环滤 芯14、液位计15、连接线16、端盖连接头17、封装盖18。