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集成式加热器和制造方法


技术摘要:
一种构造加热器的方法,包括:提供基板,在基板中形成至少一个沟槽,将功能材料沉积到基板上和至少一个沟槽中以形成功能元件,以及提供与功能元件接触的电终端。
背景技术:
本部分中的陈述仅提供与本公开有关的背景信息,并且可能不构成现有技术。 电加热器通常包括:基板,设置在基板上的电介质层,设置在电介质层上的电阻加 热层以及设置在电阻加热层上的保护层。电介质层、电阻加热层和保护层可以广泛地称为 “功能层”。通过将材料沉积到表面或基板上,电加热器的一个或多个功能层可以呈膜的形 式。 在微观尺度上,由于基板表面上存在的特征或沟槽,所沉积的膜可能具有不平坦 的表面。所沉积的膜的顶部表面通常经历平坦化工艺,以使顶部表面变得平坦并提供功能 层更均匀的性能。然而,平坦化工艺可能不期望地从所沉积的膜去除了过多的材料,从而使 最终所沉积的膜的厚度偏离其设计厚度。此外,当所沉积的膜是其中嵌入有电子元件的电 介质层时,由于电介质层的厚度减小,膜的介电完整性可能会受到损害,从而导致电加热器 的性能较差。
技术实现要素:
在一种形式中,提供了一种构造加热器的方法。该方法包括:提供基板;在基板中 形成至少一个沟槽;将功能材料沉积到基板上和至少一个沟槽中以形成功能元件;以及提 供与功能元件接触的电终端。 根据本文提供的描述,进一步的应用领域将变得显而易见。应当理解,所描述和特 定的示例仅旨在用于说明的目的,并不旨在限制本公开的范围。 附图说明 通过详细描述和附图,将更加全面地理解本公开,其中: 图1是根据本发明的教导而构造的电加热器的截面图。 图2A至图2C示出了根据本公开的教导的制造图1的电加热器的加热器层的步骤; 图2D示出了根据本公开的教导的制造图1的电加热器的布线层的步骤;和 图3示出了根据本公开的教导的制造电加热器的方法的变型的步骤。 遍及附图的若干视图,相应的附图标记指示相应的部分。
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