技术摘要：
根据实施例的光学器件的制造方法包括：氢加注步骤，向含有Ge的玻璃部件加注氢；激光照射步骤，将来自飞秒激光器的激光会聚到加注有氢的玻璃部件中，该激光具有引起玻璃部件的光致折射率变化的能量，且具有10kHz以上的重复频率；以及聚光点移动步骤，使激光的聚光点位置  全部
背景技术：
在诸如光网络通信等技术领域，随着云服务的扩展，数据中心的规模和通信数据 的容量也在迅速增长。作为实例，例如，正在研究基于硅光子学的光学IC的形成和作为高密 度光学布线的多芯光纤(以下称为“MCF”)的应用。MCF作为下一代大容量光纤受到关注，因 为MCF可以用作通过空分复用避免由于入射到光纤上的高功率光束所引起的光纤熔融而导 致的容许极限的手段。然而，为了采用诸如MCF等光学构件，采用将相邻的MCF之间连接的技 术、或将MCF的各芯部分支连接于多个单芯光纤的技术是必不可少的。作为能够在这种光学 构件之间进行连接的构件，例如可以使用诸如薄型耦合器、光栅耦合器等。特别地，从生产 率和设计灵活性的角度出发，通过激光绘制(laser  drawing)在玻璃中形成光波导的三维 光波导器件的制造受到关注。 对于这种基于迄今为止已经公布的激光绘制的三维光波导器件，正在研究玻璃材 料、掺杂剂、掺杂剂的量、以及基于Ti:S的飞秒激光器(最高800nm)的照射条件。例如，根据 非专利文献1，利用激光束照射含有TiO2的磷酸系玻璃，玻璃内的折射率变化(基材与激光 照射区域之间的折射率之差)Δn成功地达到0.015左右(制造三维光波导器件)。 引文列表 专利文献 专利文献1：日本专利申请公开No.H9-311237 专利文献2：日本专利申请公开No.H10-288799 非专利文献 非专利文献1：Masakiyo  Tonoike“, The  result  of  the  finished  national  project  on“High-efficiency  Processing  Technology  for  3-D  Optical  Devices  in  Glass””,NEW  GLASS  Vol.26,No.3,2011,pp.33-44 非专利文献2：D.L .Williams等人“ENHANCED  UVPHOTOSENSITIVITY  IN  BORON  CODOPED  GERMANOSILICATEFIBERS”,ELECTRONICS  LETTERS,7th  January,1993,Vol.29, No.1,pp.45-47 非专利文献3：B .I .Greene等人“Photoselective  Reaction  of  H2  with  Germanosilicate  Glass”,LEOS'94(1994) ,Vol.2,PD-1.2,pp.125-126 非专利文献4：Junji  Nishii等人“Ultraviolet-radiation-induced  chemical  reactions  through  one-and  two-photon  absorption  process  in  GeO2-SiO2  glasses”,OPTICS  LETTERS,Vol.20,No.10,May  15,1995,pp.1184-1186 3 CN 111556977 A 说　明　书 2/7 页
技术实现要素：
根据本发明的光学器件的制造方法至少包括氢加注步骤、激光照射步骤和聚光点 移动步骤。重复激光照射步骤和聚光点移动步骤，在要用激光照射的玻璃部件中形成连续 的折射率变化区域。具体而言，在氢加注步骤中，向含有Ge的玻璃部件中加注氢。在激光照 射步骤中，将来自飞秒激光器的激光束会聚到加注有氢的玻璃部件中。注意，来自飞秒激光 器的激光束具有引起玻璃部件的光致折射率变化的能量，并且具有10kHz以上的重复频率。 在聚光点移动步骤中，放置玻璃部件的位置和/或激光的聚光点位置连续或间歇地变化，使 激光束的聚光点在玻璃部件内移动。 附图说明 图1是用于描述根据本公开的实施例的光学器件的制造方法的流程图。 图2是示出执行图1所示的光学器件的制造方法的制造装置的结构的图。 图3是示出对于主要形成玻璃部件的不同材料(SiO2、GeO2、B2O3)中的每一种的相 对于入射光束的波长的透射率变化的测量结果的曲线图。