技术摘要：
振荡器、电子设备和移动体。提供能够输出高精度的频率信号的振荡器、以及具有所述振荡器的电子设备和移动体。振荡器具有：具有第1内部空间的第1容器，其包含第1基础基板和第1盖；具有第2内部空间的第2容器，其在第1内部空间内固定于第1基础基板，包含第2基础基板和第2  全部
背景技术：
在专利文献1中记载了一种振荡器，该振荡器具有：外侧封装；收纳于外侧封装的 内侧封装；收纳于内侧封装的振动片；以及收纳于外侧封装且在俯视观察时与内侧封装并 排配置的电路元件。此外，在专利文献1的振荡器中，在电路元件中包含有温度传感器，根据 温度传感器检测出的温度对输出信号的频率进行校正。 现有技术文献 专利文献 专利文献1：日本特开2014-107862号公报 但是，在专利文献1的振荡器中，包含温度传感器的电路元件位于收纳振动片的内 侧封装的外侧，因此，容易产生温度传感器和振动片的温度差，很难高精度地进行输出信号 的校正。因此，输出信号的频率精度可能降低。
技术实现要素：
本发明的应用例的振荡器的特征在于，所述振荡器具有：具有第1内部空间的第1 容器，其包含第1基础基板和与所述第1基础基板接合的第1盖；具有第2内部空间的第2容 器，其在所述第1内部空间内固定于所述第1基础基板，包含第2基础基板和与所述第2基础 基板的一个主面侧接合的第2盖；振动片，其在所述第2内部空间内配置于所述第2基础基板 的所述一个主面侧；温度传感器，其配置于所述第2基础基板的另一个主面侧；第1电路元 件，其配置于所述第2基础基板的另一个主面侧，包含振荡电路，该振荡电路生成使所述振 动片振荡并根据所述温度传感器的检测温度进行温度补偿后的振荡信号；以及第2电路元 件，其在所述第1内部空间内固定于所述第1基础基板，包含对所述振荡信号的频率进行控 制的频率控制电路，在俯视观察时，所述第2容器和所述第2电路元件并排配置。 在本发明的应用例的振荡器中，优选所述第2基础基板具有在所述一个主面开口 的第1凹部、以及在所述另一个主面开口的第2凹部，所述振动片配置于所述第1凹部的底 部，所述第1电路元件配置于所述第2凹部的底部。 在本发明的应用例的振荡器中，优选所述温度传感器与所述第1电路元件一体。 在本发明的应用例的振荡器中，优选所述第1基础基板具有第1部分、以及比所述 第1部分厚的第2部分，在所述第1部分和所述第2部分中的一方固定有所述第2容器，在另一 方固定有所述第2电路元件。 在本发明的应用例的振荡器中，优选所述第2容器和所述第2电路元件中的厚度较 薄的一方固定于所述第2部分，厚度较厚的一方固定于所述第1部分。 在本发明的应用例的振荡器中，优选所述第2容器具有输出所述温度传感器的输 出信号的温度输出端子，所述温度输出端子与所述频率控制电路电连接。 4 CN 111614341 A 说　明　书 2/12 页 在本发明的应用例的振荡器中，优选所述第2容器具有被施加向所述振荡电路供 给的电源电压的电源端子，所述振荡器具有旁通电容器，该旁通电容器收纳于所述第1容 器，并与所述电源端子连接。 在本发明的应用例的振荡器中，优选所述振荡器具有收纳于所述第1容器且固定 于所述第1基础基板的第1旁通电容器和第2旁通电容器，所述第1旁通电容器的一端和所述 第2旁通电容器的一端相互面对配置，所述第1旁通电容器和所述第2旁通电容器的相互面 对侧的端部彼此是相同电位。 在本发明的应用例的振荡器中，优选所述第2容器经由绝缘性接合部件固定于所 述第1基础基板。 在本发明的应用例的振荡器中，优选所述第2容器在俯视观察时具有第1边和比所 述第1边更接近所述第2电路元件的第2边，并且具有输出所述振荡信号的振荡输出端子，所 述振荡输出端子设置于位于所述第2边的两端的2个角部中的任意一方。 在本发明的应用例的振荡器中，优选所述第2容器的所述第2盖固定于所述第1基 础基板。 本发明的应用例的电子设备的特征在于，所述电子设备具有：上述振荡器；以及信 号处理电路，其根据所述振荡器的输出信号进行信号处理。 本发明的应用例的移动体的特征在于，所述移动体具有：上述振荡器；以及信号处 理电路，其根据所述振荡器的输出信号进行信号处理。 附图说明 图1是示出第1实施方式的振荡器的剖视图。 图2是示出图1的振荡器的俯视图。 图3是沿图2中的A-A线的剖视图。 图4是从下侧观察图1的振荡器所具有的温度补偿型石英振荡器的俯视图。 图5是图1的振荡器所具有的第2电路元件的电路图。 图6是示出第2实施方式的振荡器的剖视图。 图7是示出第3实施方式的个人计算机的立体图。 图8是示出第4实施方式的汽车的立体图。 标号说明 1：振荡器；2：外侧封装；3：温度补偿型石英振荡器；4：第2电路元件；5：内侧封装； 5a：第1边；5b：第2边；6：振动片；7：第1电路元件；21：第1基础基板；21A：薄壁部；21B：厚壁 部；22：第1盖；23：接合部件；40：PLL电路；41：相位比较器；42：电荷泵；43：低通滤波器；44： 电压控制型振荡电路；45：分频电路；48：存储部；49：输出电路；51：第2基础基板；52：第2盖； 53：接合部件；60：石英基板；61：电极；71：温度传感器；72：振荡电路；81、82：分立元件；211、 211a～211c：凹部；241、242：内部端子；243：外部端子；481：温度校正表；511：第1凹部； 511a、511b：凹部；512：第2凹部；512a、512b：凹部；513：部分；541、542：内部端子；543：外部 端子；543a～543d：端子；621：第1激励电极；622：第1连接盘电极；623：第1引出电极；631：第 2激励电极；632：第2连接盘电极；633：第2引出电极；721：振荡电路部；722：温度补偿电路 部；810：第1旁通电容器；811：端部；820：第2旁通电容器；821：端部；1100：个人计算机； 5 CN 111614341 A 说　明　书 3/12 页 1102：键盘；1104：主体部；1106：显示单元；1108：显示部；1110：信号处理电路；1500：汽车； 1510：信号处理电路；B1：绝缘性接合部件；B2、B3：接合部件；B4：导电性接合部件；BW1～ BW6：接合线；Db、Dc：厚度；S2：第1内部空间；S5：第2内部空间；t3、t4、tb、tc：厚度；α：假想中 心线。